在工控领域,精密控制是一个永远让用户关心的因素。高精度传感器KAMAN KD-2306和SMT-9700系统专门为用户设计,用户精密机床主轴和雕刻头的控制。在此领域,KAMAN已经有了超过10年的经验,并为世界的雕刻机床厂商提供技术服务。测量精度可达0.5um
高精度传感器KAMAN的差分测量系统KD-5100和DIT-5200系统在激光反射面控制领域有着卓越的表现,无论是在快速镜面控制,还是在中继反射镜实验中,都有着优异的表现。产品在航空,通讯,军事等领域已经得到了广泛的应用。
高精度传感器低温应用:
20N传感器有一个专门的低温应用版本,它有一个内部伸缩接头,当用螺丝安装一个贝勒维尔垫圈后,可有效消除压力或温度引起的机械变性。已证明其在70°K的液态氮中有异的性能。好几个空间项目在4°K的液态氦环境中使用了此传感器。
高精度传感器真空应用:
传感器和KD-5100的电子器件都已用在10-6托的真空应用中了。
超高精度宇航应用:
已制造出MIL-H-38534。所有电子器件均采用符合MIL-SPEC标准的。KD-5100在战斗环境下超过55,000小时,太空飞行环境下超过238,000小时。
小尺寸 (只有 2 x 2.12 x 0.75英寸) ,可应用于空间狭小的场合。
其它应用:望远镜定位、磁悬浮轴定位。
高精度传感器主要特点:
每通道两个匹配的传感器使分辨率达到1nm;
超耐热,长时间稳定:1.27x10-4mm/月或更好;
有耐低温传感器;
非常高的灵敏度,到394 mV/µm;
低功耗:小于2W(±15 Vdc典型情况下);
目标 1 能够精确地调整和保持半导体晶片在进行物理气相沉淀(PVD)室中整齐排列。 2 避免在进入沉淀室时,由于排列不整齐而造成晶片损坏。 3 确保沉淀物统一地沉淀在晶片上。 解决方案 高精度传感器在物理气相沉淀系统中,晶片会被放入不同的沉淀室里,每一个沉淀室用来沉淀不同的物质。传感器被安装在沉淀室的内侧(如图所示)。每个传感器测量载有晶片的传送器在沉淀室中的位置。Kaman系统提供了模拟和数字两种输出信号,以防止超出系统可承受的范围。 结果:提高了时间和精度。 高精度传感器解决方案 在沉淀开始前,Kaman传感器确保金属盘与喷洒器保持平行的位置关系,喷洒器用来均匀喷射气体(如图所示)。传感器则用来做校准装置,这样校准可以定位金属盘在一个最合适的位置。Kaman系统提供了模拟和数字两种输出信号,以防止信号值超出可承受范围。如果金属盘倾斜,制动装置将校正其位置。 高精度传感器能静态和动态地非接触、高线性度、高分辨力地测量被测金属导体距探头表面的距离。它是一种非接触的线性化计量工具。电涡流传感器能准确测量被测体(必须是金属导体...
目标 1 通过化学气相沉淀方法将统一的胶片应用在硅晶片上。 2 使化学物质沉淀在晶片上。 高精度传感器解决方案 在沉淀开始前,Kaman传感器确保金属盘与喷洒器保持平行的位置关系,喷洒器用来均匀喷射气体(如图所示)。传感器则用来做校准装置,这样校准可以定位金属盘在一个最合适的位置。Kaman系统提供了模拟和数字两种输出信号,以防止信号值超出可承受范围。如果金属盘倾斜,制动装置将校正其位置。 高精度传感器特点 1类型:SMT-9700 2 直接测试:一个环直接连接到弹簧浮板传感器可以直接测试气体喷射器的位置。 3 无需接触:应用涡电流的技术,每一个传感器均可以无接触地测量到目标体的位置。 4 应用广泛。 高精度传感器原理,块状金属导体置于变化的磁场中或在磁场中作切割磁力线运动时,导体内将产生呈涡旋状的感应电流,此电流叫电涡流,以上现象称为电涡流效应。而根据电涡流效应制成的传感器称为电涡流式传感器。而KAMAN就是根据该原理设计成的电涡流传感器。 高精度传感器能静态和动态地非接触、高线性度、高分辨...