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供应ZLDS/N-100激光检测 激光位移传感器 高精度激光位移传感器

价 格: 1.00
型号/规格:ZLDS/N-100
品牌/商标:英国真尚有

 

高精度激光位移传感器ZLDS/N-100是一款非接触式高精度光学位移传感器,具有100微米的量程和15纳米的分辨率,起始测量距离是3mmZLDS/N-100可以相当于一个高分辨率的电容传感器。对于定点测量,振动测量,表面轮廓测量,对于被测体有较宽的适用范围,比如金属,半导体和玻璃。该传感器可以很容易与现有设计相接合,而且具有较大的基准距,ZLDS/N-100都是一款理想的测量工具。

高精度激光位移传感器应用领域:

应用于光盘、硬盘的高精度在线非接触性检测,还可以应用于电机等强磁场测振和表面轮廓测量。

高精度激光位移传感器主要特点:

高数据采集,高分辨率,可替代电容式传感器;

对电磁场不敏感,可用于电机等强磁场测振;

对被测体表面要求低,反射率4100%均可用;

宽频带,可测高频振动体;

技术规格:

 

技术参数

ZLDS/N-100

量程μm

100

分辨率nm

15

线性度μm

±5

重复性nm

±75

信号接收范围μm

±400

带宽KHz

100

允许表面反射度%

4100

传感器探头基准距mm

3.0

垂直容忍度

±0.1°

供电

±12VDC @80mA

传感器体长mm

58.7

测量点直径μm

100

控制器尺寸mm

98x32x13

电缆长度mm

460

 

 

 

 

摩尔定律一直在推动IC线宽和尺寸的变化。为了跟上技术发展的步伐,前端制造设备和测量设备中的纳米定位机构和精密运动控制系统的精度必须达到10倍至1000倍的更高精度和更小特征尺寸。振动、定位误差和漂移必须控制在0.1nm范围内(原子半径量级)。传统的定位系统已经无法提供半导体产业所需的稳定性和精度。

 

解决方案

在半导体领域,英国真尚有提供基于压电陶瓷的解决方案,精密运动产品还包括用于快速光束稳定/角度校正的压电偏摆平台,用于纳米测量应用的压电柔性纳米台,用于掩模对准的纳米对准系统,用于水平和垂直定位的新型混合纳米定位台。英国真尚有的电容纳米测量传感器可以测量亚纳米尺度的运动并具有很高的带宽,也大量应用在半导体产业中。

 

深圳市真尚有科技有限公司
公司信息未核实
  • 所属城市:广东 深圳
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