高精度激光位移传感器ZLDS/N-100是一款非接触式高精度光学位移传感器,具有100微米的量程和15纳米的分辨率,起始测量距离是3mm。ZLDS/N-100可以相当于一个高分辨率的电容传感器。对于定点测量,振动测量,表面轮廓测量,对于被测体有较宽的适用范围,比如金属,半导体和玻璃。该传感器可以很容易与现有设计相接合,而且具有较大的基准距,ZLDS/N-100都是一款理想的测量工具。
高精度激光位移传感器应用领域:
应用于光盘、硬盘的高精度在线非接触性检测,还可以应用于电机等强磁场测振和表面轮廓测量。
高精度激光位移传感器主要特点:
高数据采集,高分辨率,可替代电容式传感器;
对电磁场不敏感,可用于电机等强磁场测振;
对被测体表面要求低,反射率4~100%均可用;
宽频带,可测高频振动体;
技术规格:
技术参数 |
ZLDS/N-100 |
量程μm |
100 |
分辨率nm |
15 |
线性度μm |
±5 |
重复性nm |
±75 |
信号接收范围μm |
±400 |
带宽KHz |
100 |
允许表面反射度% |
4~100 |
传感器探头基准距mm |
3.0 |
垂直容忍度 |
±0.1° |
供电 |
±12VDC @80mA |
传感器体长mm |
58.7 |
测量点直径μm |
100 |
控制器尺寸mm |
98x32x13 |
电缆长度mm |
460 |
摩尔定律一直在推动IC线宽和尺寸的变化。为了跟上技术发展的步伐,前端制造设备和测量设备中的纳米定位机构和精密运动控制系统的精度必须达到10倍至1000倍的更高精度和更小特征尺寸。振动、定位误差和漂移必须控制在0.1nm范围内(原子半径量级)。传统的定位系统已经无法提供半导体产业所需的稳定性和精度。
解决方案
在半导体领域,英国真尚有提供基于压电陶瓷的解决方案,精密运动产品还包括用于快速光束稳定/角度校正的压电偏摆平台,用于纳米测量应用的压电柔性纳米台,用于掩模对准的纳米对准系统,用于水平和垂直定位的新型混合纳米定位台。英国真尚有的电容纳米测量传感器可以测量亚纳米尺度的运动并具有很高的带宽,也大量应用在半导体产业中。
ZDM工业用激光测距传感器是一款多用途激光测距仪。系统装配905纳米一级安全激光器,对于被动目标的测量距离范围从0.3米到6000米,整个仪器体积小巧,重量轻而且结实耐用,封装符合IP67标准。 ZDM测距传感器主要用于替代雷达系统,闭路控制系统和光闸控制系统等。同时在以下领域提供经济有效的解决方案:空中防撞,溢出高度测量和空中高度测量等。 测距传感器应用领域: 本产品主要用于自动监控车辆限速、相机自动触发、车辆安全车速测量、飞机高度测量、船舶安全靠距、高架电缆测量、限高测量、替代雷达系统,闭路控制系统和光闸控制系统等。 测距传感器型号与特点: 测量距离6000米; 采用905纳米一级安全激光器,对人眼无伤害; 具有精度高重量轻的重要特点,广泛应用于军事、安全监控、航空等多种行业; 可根据实际情况定制传感器测距算法。 整个仪器体积小巧,结实耐用; 封装符合IP67标准; 摩尔定律一直在推动IC线宽和尺寸的变化。为了跟上技术发展的步伐,前端制造设备和测量设备中的纳米定位机构和精密运动控制系统的精度必须达到10倍至1000倍的更高精...
LDM30x大量程激光测距测速传感器基于激光脉冲反射时差法原理,适用大量程测量,具有很高的响应频率,能适用恶劣的工业环境等特点。激光测距测速传感器具结实的金属外科,使其能工作在有害气体环境,安全保护等级IP67,安装维护方便。 激光测距测速传感器应用领域: 位置控制(如车辆和船舶);定位起重机;装卸和搬运设备;飞机测量(测高仪);冶金过程控制;测量不宜接近的物体(如管灌装物、管道、集装箱),以及水位测量。 激光测距测速传感器主要特点: 远距离测量,在无反光板和反射率低的情况下能测量较远的距离; 有同步输入端,可多个传感器同步测量; 测量范围广,响应时间短; 外形设计紧凑,易于安装,便于操作; 摩尔定律一直在推动IC线宽和尺寸的变化。为了跟上技术发展的步伐,前端制造设备和测量设备中的纳米定位机构和精密运动控制系统的精度必须达到10倍至1000倍的更高精度和更小特征尺寸。振动、定位误差和漂移必须控制在0.1nm范围内(原子半径量级)。传统的定位系统已经无法提供半导体产业所需的稳定性和精度。 解决方案 在半导体领域,英国真...