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供应ZCS1100位移传感器 电容式位移传感器

价 格: 1.00
型号/规格:ZCS1100
品牌/商标:英国真尚有

 

ZCS1100精密电容位移传感器是一个单一的通道,高性能线性位移测量系统,采用创新的电容位移测量技术,适合测量任何导电目标,提供了纳米测量能力,成本低。

ZCS1100精密电容位移传感器应用领域

压电微位移、振动台,电子显微镜微调,

天文望远镜镜片微调,精密微位移测量等。

 

ZCS1100精密电容位移传感器主要特点

纳米级分辨率;

分辨率:0.1nm

供电:±15VDV

高性能、成本低,尺寸小巧;

线性0.08%

灵敏度可调;

量程:240µm

 

 

摩尔定律一直在推动IC线宽和尺寸的变化。为了跟上技术发展的步伐,前端制造设备和测量设备中的纳米定位机构和精密运动控制系统的精度必须达到10倍至1000倍的更高精度和更小特征尺寸。振动、定位误差和漂移必须控制在0.1nm范围内(原子半径量级)。传统的定位系统已经无法提供半导体产业所需的稳定性和精度。

 

解决方案

在半导体领域,英国真尚有提供基于压电陶瓷的解决方案,精密运动产品还包括用于快速光束稳定/角度校正的压电偏摆平台,用于纳米测量应用的压电柔性纳米台,用于掩模对准的纳米对准系统,用于水平和垂直定位的新型混合纳米定位台。英国真尚有的电容纳米测量传感器可以测量亚纳米尺度的运动并具有很高的带宽,也大量应用在半导体产业中。

 

深圳市真尚有科技有限公司
公司信息未核实
  • 所属城市:广东 深圳
  • [联系时请说明来自维库仪器仪表网]
  • 联系人: 江山
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