被测物:铝、银、铜、金、铍、镁合金、铅、300系列不锈钢以及镍铬合金等。铁,镍,和许多及其合金(磁性材料)是不能测量的。可以把铝安装于较稳定的温度范围内,同时,可以在不胀钢两侧贴上铝片就可以测量不胀钢的厚度了。
尺寸:被测物的截面必须大于1.5-2倍探头直径。
探头:探头中最关键的部分是线圈,线圈是暴露于环境中的。附带的传感器保护帽。保持至传感器安装好。
固定夹具:结构好,可重复性强。
性能下降的主要因素有:
1、不平等的导入。指两个探头在测量范围内有不同的导电材料影响。最理想的情况是没有其他导电材料在测量范围内。
2、不相同的位置。两个探头应该安装于同一水平位置上,中心点在同一水平面上,固定于一个支架上。支架不随时间的推移而变形。
交叉轴灵敏度:假定在稳定可重复的固定,并且遵从所有的条件下,系统仍出现一些错误的现象,我们称之为交叉轴灵敏度。
发生情况:被测物在X轴、Y轴的中央基准点上,当被测物在X轴上移动是,Y轴上应该不改变,只有X轴有输出变化。但事实并非如此,被测物的移动,会耦合探头与被测物间的信号,从而导致Y轴上也稍有变化。
特点 :1、匹配的两个传感器每通道有纳米的分辨率 。
2、卓越的热稳定性和长期稳定。
3、小尺寸封装,可应用于空间狭窄的场合。
4、可工作于低温(-520C至1050C)。
5、高灵敏度:高达394mV/um。
6、低功耗: 小于2W ,± 15 VDC(供电)。
应用:夜视系统、精密的望远镜定位、快速转向反射镜、图像稳定系统、磁悬浮轴定位。
1、精密望远镜定位。定位转向镜子来跟踪和控制激光用于通信和研究。定位一面反射镜,使反射激光光束找到数百公里以外的目标。
解决方案:四端感应探头,X、Y轴分别对应一对探头,安装于反射镜的背面,以检测其移动的位置。每个探头是平衡电桥的一边,当镜子移动,桥变得不平衡,使得输出相应的电压。该传感器可根据镜子的角位移提供双极性输出电压。
使用优点:非接触式测量,分辨率高,灵活性强,探头尺寸小,方便在狭窄空间的测量,多功能性。
2、中继镜片激光定位(RME):
RME演示了一束从地球发射到450公里轨道上人造卫星的激光可以被地反射到直径3米的目标地面。
KD5100被用于定位60cm的中继镜片,其精度高于试验目标的16倍,视线稳定度高2.3倍。
3、半导体圆晶片制造中的超高激光聚焦:
激光微注技术被用于开发半导体圆晶片制造中的“直接写入”应用和高吞吐量模板图案应用,而且还被融合进0.1微米工艺的产品中。KD5100就被应用到此技术中,控制激光的位置,完成超高位置、关键尺寸和对齐控制。
4、差动测量:
两个匹配的传感器被放置在被测物平台两侧,这两个传感器组成了平衡桥电路相反的两端,这个结构提供了极好的线性和热稳定性,所以其输出准确地记录了线性的最微小移动。如激光反射镜聚焦平台定位。
5、低温应用:
20N的探头有一个专门的低温应用版本,它有一个内部伸缩接头,当用螺丝安装一个贝勒维尔垫圈后,可有效消除压力或温度引起的机械变性。已证明其在70°K的液态氮中有异的性能。好几个空间项目在4°K的液态氦环境中使用了此传感器。
6、真空应用:
实验证明,探头与控制器都已能在10-6托的真空中应用。
7、超高精度宇航应用:
已制造出MIL-H-38534。所有电子器件均采用符合MIL-SPEC标准的。KD5100在战斗环境下超过55000小时,太空飞行环境下超过238000小时。
SMT-9700是一款基于电涡流效应的传感器,它具有超高的分辨率,可以非接触测量任何导电金属体的位置或位移。它是一款理想的位移传感器,并在以下行业中成功应用: 1、光刻设备中雕刻头的定位 2、原子显微镜的XYZ轴定位 3、轴承套圈中轴的高精度测量 需要解决的问题 传感器性能的表示有很多方面。有些应用,分辨率的大小是最重要的。有些其它的应用测量输出的热稳定性是最重要的,或者是线性度、频响,又或者是所有参数的综合性能。 性能的灵活转换使得SMT-9700成为一款理想的OEM传感器。线性度和热稳定性这两个参数有较大的调整空间,提供了很大的灵活性。例如:在一个半导体洁净室中,有着非常稳定的温度环境,就可以降低热稳定性来交换提高更有意义的线性度。反之,如果热稳定性更重要的话,就可以牺牲线性度来获得更高的热稳定性。提供5阶选项值,用来修正输出值非线性度。 在很多实际应用中需要监测的位移都是非常小的。满量程为100μm也是常有的,满量程的输出是10VDC,那么灵敏度是很高的,这个例子中就是100mV/μm。 在设计的早期阶段,对性能的权衡,可以很容易的管理传感器的量程、尺寸和被测物材质。使用计算机...
应用背景 水泥板的生产过程中,根据不同的要求,需要在线控制加料的量以达到控制水泥板的预期厚度。若用传统的测量方法,即手工用游标卡尺甚至用直尺等测量工具测量,一是精度太低,二是有接触的测量造成了不必要的大量的材料浪费。而选用激光非接触式高精密的测量,同时解决了两个问题。深圳真尚有公司ZLDS100传感器可定制各种量程和精度,具有高精度,高稳定性,高响应等各种优点,特别适合此运用,可作为无损耗、在线精密监控的工具。 应用方案 在待测量模板上取3-4个点,分别放置ZLDS100传感器。对这些点进行实时同步测量。当开始测量准备时,即待加工品放置上去后,可通过软件分别设置零点,然后通过反馈的位 移信息,可以高精度地控制着添加混凝土的机器,以达到在线控制其厚度。 ZLDS10X激光位移传感器 主要特点 ◆高响应频率,可达9.4KHZ; ◆高精度分辨率0.01%,线性度0.1%; ◆可订制各种尺寸和量程; ◆支持多个传感器同步采集(确保工业在线高精度差动测厚); ◆针对串口,提供了运行应用的DLL开发库,方便用户开发应用软件; ◆非接触位移精密测量;