由于薄膜的特殊性，一般的激光传感器不能检测他的厚度。目前国际上通用的薄膜厚度检测方法是用单极性ZCS1100或双极性ZNXsensor电容式厚度传感器组成薄膜厚度测量仪。两个传感器的板形成一个平行板电容器，每个传感器可用在两个不同的测量范围；具有纳米级分辨率，且不受电磁感应导致的信号滞后影响（零磁滞）。

电容式厚度传感器主要应用领域：压电微位移、薄膜厚度检测、振动台，电子显微镜微调，天文望远镜镜片微调，精密微位移测量等。

主要技术指标：

量程：20~1250um；

分辨率<0.1nm；零磁滞；

线性度0.02%；

频带可调范围：50~5000Hz；

灵敏度可调；

真空兼容选项。

英国真尚有研发的激光测厚仪---ZTMS08采用了德国进口激光位移传感器，将激光束作为接触测量时的机械探针,利用电荷耦合器件实现光电转换。真尚有测厚仪ZTMS08是将激光光源、光电检测和计算机工业控制技术相结合的光、机、电一体化的高新技术产品, 可广泛用于生产线上对各种材料的厚度、宽度、轮廓的实时测量, 具有非接触测量、不损伤物体表面、无环境污染、抗干扰能力强、精度高、数据采集、处理功能全等特点, 是我国工业生产线产品质量控制的重要设备。

应用领域

包括各种冷热轧带钢、钢板、铝板、铝箔、铜板、铜箔、转炉内衬、木材、食品、精密器件，各类橡胶片、橡胶膜、橡胶轮胎、塑料板材、布等透明及非透明柔性板材的厚度在线测量监控。

激光测厚仪主要技术参数

最多可连接126个传感器，构成63点在线测厚仪；

精度1um，采样频率10Khz；

适合各种物质的高精度实时在线连续测量；

节省人力，节约原材料, 提高产品质量；

通过工业用计算机采集数据；

数据处理、图形曲线显示、偏差报警等功能。

传感器采用全封闭结构,能够在多油、潮湿的环境下长期可靠工作。

MP Z轴定位台执行器是一个低电压的压电转换设备，有各种各样的量程，以适应各种定制应用。开环压电转换设备理论上有无限的分辨率并且只是受限于驱动器上的电压噪声。它的量程可以从15-105um，甚至进一步进行机械放大。每个执行器内部预装以确保可以获得一个高拉力，以及作为一个强大的推动力。它们的回转速度受限于电子元件上的驱动电流。当没有使用传感器时，10％- 15％的固有滞后限制其精度。

MP Z轴定位台概述

为了便于安装，每一个MP执行器在其底部都会有一个M3的固定螺孔，从而允许大的配件和MP一同使用。
MP系列执行器有真空（VAC）和超高真空（UHV）选项。
我们提供一系列驱动选项以适应MP产品在各种开环模式中使用，或者他们可以与纳米传感器和闭环电子元件相结合来配置自定义的闭环控制系统。

深圳市真尚有科技有限公司是英国真尚有集团（ZSY Group Ltd）的一部分，成立于2005年3月，主要代理英国真尚有传感器：如激光位移、2D激光、电涡流、光幕、电容等高精度位移传感器及相关传感器；同时支持机械量参数检测方案：如厚度、宽度、长度、速度长度、高度、距离、轮廓、直径、圆度、平整度、振动、转速等。 真尚有科技以“以科技感知世界，用智能引领未来”为经营理念，以“质量，诚信为本，服务至上”为经营方针，依托集团优势，致力于引进国外测量技术；是基于进口高端传感器，以软测量技术、RFID技术、无线传感器网络技术及相关中间件软件平台为发展方向，集研究、开发、销售、培训、系统集成、技术支持、售后服务为一体的高科技产业公司。 真尚有科技所处的自动化测试测量领域前景十分广阔，直接服务于国内高端制造业。国内制造业的整体升级，需要大量高精度、高度自动化、高可靠性的测试测量设备、传感器，这给我们带来了庞大的市场和良好的发展机遇。真尚有科技在精密制造业、铁路测量、公路测量、设备监控、高校教学、研究等领域有着大量优质客户，市场广阔，潜力巨大。 真尚有科技还是深圳市政府认定的软件企业，拥有自主知识产权，公司将自己的核心软件技术服务于测量领域，成功应用国外各种高端测量设备及传感器，为客户解决多种实际的测量难题。我们自主研发的基于通用硬件平台的软测量体系之测厚系统ZTMS08已通过计量机构的权威认证，精度达1μm，广泛应用于各种工业在线测厚领域。 真尚有科技拥有完善的产品服务体系，为客户提供优质的技术支持和售前、售中、售后服务，解除客户的后顾之忧。