ZCS1100是一个单一的通道,高性能线性位移测量系统,电容传感器创新的电容位移测量技术,提供了纳米测量能力,成本低,适合测量任何导电目标。
电容传感器是一种非接触式的电容位移传感器;两个传感器板形成一个平行板电容器,每个电容传感器可用在两个不用的测量范围;纳米分辨率;零磁滞。
电容传感器应用领域
压电微位移、振动台,电子显微镜微调,天文望远镜镜片微调,精密微位移测量等。
电容传感器主要特点
纳米级分辨率;
线性0.08%;
灵敏度可调;
量程:240µm;
分辨率:0.1nm;
供电:±15VDV;
高性能、成本低,尺寸小巧;
ZNXsensor 电容传感器应用领域:
压电微位移、振动台,电子显微镜微调,
天文望远镜镜片微调,精密微位移测量等。
ZNXsensor 电容传感器主要特点:
线性0.02%;
频带可调:50~5000Hz;灵敏度可调;
量程20~1250μm;
分辨率<0.1nm;零磁滞;
真空兼容选项;
技术规格:
传感器型号 |
ZNXA |
ZNXB |
ZNXC |
ZNXD |
小量程μm |
- |
20 |
100 |
250 |
灵敏度μm/V |
- |
2 |
10 |
25 |
噪音nm rms Hz-1/2 |
- |
<0.001 |
<0.005 |
<0.013 |
温漂nm/K |
- |
1 |
4.4 |
11 |
线性度% |
- |
<0.08 |
<0.03 |
<0.06 |
大量程μm |
50 |
100 |
500 |
1250 |
灵敏度μm/V |
5 |
10 |
50 |
125 |
噪音nm rms Hz-1/2 |
<0.08 |
<0.015 |
<0.075 |
<0.188 |
温漂nm/K |
2.2 |
4.4 |
22 |
55 |
线性度% |
<0.08 |
<0.08 |
<0.05 |
<0.06 |
频响Hz |
50/500/5000 |
控制器型号 |
NS2000 |
NM2110 |
S2000和NS模块 |
NM3330 |
传感器通道个数 |
1 |
1 |
14 |
3 |
供电 |
±15V,70mA |
90~130V或220~260V |
90~110V或110~130V或220~260V |
90~260V |
模拟输出V |
±5 |
±5 |
±5 |
|
数字输出 |
|
|
16位(可选) |
7位浮点数 |
频响KHz |
5 |
5 |
5 |
12.5 |
ZNXsensor电容传感器是一种非接触式的电容位移传感器;两个传感器板形成一个平行板电容器,每个电容传感器可用在两个不用的测量范围;纳米分辨率;零磁滞。 ZNXsensor电容传感器应用领域: 压电微位移、振动台,电子显微镜微调,天文望远镜镜片微调,精密微位移测量等。 电容传感器主要特点: 量程20~1250μm; 分辨率<0.1nm;零磁滞; 线性0.02%; 频带可调:50~5000Hz;灵敏度可调; 真空兼容选项; ZCS1100是一个单一的通道,高性能线性位移测量系统,电容传感器创新的电容位移测量技术,提供了纳米测量能力,成本低,适合测量任何导电目标。 电容传感器应用领域 压电微位移、振动台,电子显微镜微调,天文望远镜镜片微调,精密微位移测量等。 电容传感器主要特点 纳米级分辨率; 线性0.08%; 灵敏度可调; 量程:240µm; 分辨率:0.1nm; 供电:±15VDV; 高性能、成本低,尺寸小巧;
真尚有科技ZNXsensor 电容传感器是一种非接触式的电容位移传感器。其优势为纳米分辨率、零磁滞。 ZNXsensor 电容传感器的两个传感器板形成一个平行板电容器。每个电容传感器可用在两个不用的测量范围。 ZNXsensor 电容传感器应用领域: 压电微位移、振动台,电子显微镜微调, 天文望远镜镜片微调,精密微位移测量等。 ZNXsensor 电容传感器主要特点: 线性0.02%; 频带可调:50~5000Hz;灵敏度可调; 量程20~1250μm; 分辨率<0.1nm;零磁滞; 真空兼容选项; 传感器型号 ZNXA ZNXB ZNXC ZNXD 小量程μm - 20 100 250 灵敏度μm/V - 2 ...