从能量转换的角度而言,电容传感器为无源变换器,需要将所测的力学量转换成电压或电流后进行放大和处理。力学量中的线位移、角位移、间隔、距离、厚度、拉伸、压缩、膨胀、变形等无不与长度有着密切联系的量;这些量又都是通过长度或者长度比值进行测量的量,而其测量方法的相互关系也很密切。另外,在有些条件下,这些力学量变化相当缓慢,而且变化范围极小,如果要求测量极小距离或位移时要有较高的分辨率,其他传感器很难做到实现高分辨率要求,在精密测量中所普遍使用的差动变压器传感器的分辨率仅达到1~5 μm数量级;而有一种电容测微仪,他的分辨率为0.1nm,比前者提高了四个数量级,量程为1250 μm,而且为零磁滞,因此他在精密小位移测量中受到青睐。
双极电容传感器:该传感器是一种非接触式的电容位移传感器;两个传感器板形成一个平行板电容器,每个传感器可用在两个不用的测量范围;纳米分辨率;零磁滞。
ZCS1100单极电容传感器:ZCS1100是一个单一的通道,高性能线性位移测量系统,创新的电容传感器测量技术,提供了纳米测量能力,成本低,适合测量任何导电目标。
应用领域
压电微位移、振动台,电子显微镜微调,天文望远镜镜片微调,精密微位移测量等。
电容传感器主要特点 纳米级分辨率; 线性0.08%; 量程:240µm; 分辨率:0.1nm; 供电:±15VDV; 高性能、成本低,尺寸小巧; 灵敏度可调; 英国真尚有ZCS1100电容传感器是一个单一的通道,高性能线性位移测量系统,电容传感器创新的电容位移测量技术,提供了纳米测量能力,成本低,适合测量任何导电目标。 参数 标志 值 单位 备注 ZCS1100静态参数 尺寸 长126×宽57×高30 mm ① 电源电流 ±15 V ...
ZNXsensor电容传感器是一种非接触式的电容位移传感器;两个传感器板形成一个平行板电容器,每个电容传感器可用在两个不用的测量范围;纳米分辨率;零磁滞。 电容传感器应用领域: 压电微位移、振动台,电子显微镜微调,天文望远镜镜片微调,精密微位移测量等。 电容传感器主要特点: 量程20~1250μm; 分辨率<0.1nm;零磁滞; 线性0.02%; 频带可调:50~5000Hz;灵敏度可调; 真空兼容选项; 传感器型号 ZNXA ZNXB ZNXC ZNXD 小量程μm - 20 100 250 灵敏度μm/V - 2 10 25 噪音nm rms Hz-1...