双频激光干涉仪ZLM800
| 价 格： | 面议 | |
| 型号/规格： | ZLM800 | |
| 品牌/商标： | 德国耶拿尔 |
dzsc/18/7116/18711654.jpg
产品功能
ZLM800多轴路同步测量激光干涉仪——真正的双频激光干涉仪，主要用于各种平台和部件的微位测量、各种摆镜角度变化量的监测、运动平台位移量和角度变化的检测、光刻机几何量的测量、数控机床几何量的测量等，最多可实现六轴联动。也可通过位移+偏摆+俯仰的三角关系检测物体的振动变化。
1.纳米级的多轴联动位移、速度、加速度的动静态测量分析及运动控制环同步测量校准；
2.同步实时测量多轴联动驱动部件的俯仰、扭摆、滚动的角位移变化, X-Y-Z 轴的联动插补位移误差及驱动匹配误差分析；
3.纳米级振动的多轴向同步数据采集测量和分析。
性能优势
技术参数
| 型号：ZLM800 | 使用高性能PCI或机架式数据处理器 |
| He-Ne激光平均波长： | 632.8 nm |
| 激光稳频精度： | 一小时2x10-9（±0.002ppm） 寿命内2x10-8（±0.02ppm） |
| 系统精度（0-40℃时）： | ±0.4ppm |
| 光束直径： | 6mm (可选3.2mm) |
| 激光管突发输出功率： | 5mW (激光等级2) |
| 每束光可测量的轴数： | 最多6个 |
| 线性测量距离： | 2m |
| 角度测量范围： | ± 10° |
| 速度： | 2m/s |
| 加速： | 无限制 |
| 采样频率： | 内部1MHz，外部40MHz |
| 预热时间： | 10分钟 |
| 位移测量分辨率： | 1.25nm |
| 位移测量精度： | ±0.4ppm (μ/m) |
| 角度测量分辨率： | 0.003μrad |
| 角度测量精度： | ±0.1ppm实测值 |
| 数据接口： |
积分信号 32 Bit (实时时间) 数据延时< 20 ns |
| 数据分析标准： | ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA |
| 工作环境： | 温度：15°C-30°C 湿度：<90%无冷凝 |
| 储存环境： | 温度：10°C-40°C 湿度：<95%无冷凝 |
应用 以下是为中国科学院某项目设计的ZLM800双频激光干涉仪两个应用。在个中，用两个3轴角度干涉仪分别监视两个摆镜的摆动，实时测试两个摆镜对应量（俯仰、偏摆和位移）的差异情况。在第二个中，用一个3轴角度干涉仪来测试摆镜的镜面摆动情况，2个单轴位移干涉仪检测一个两轴位移平台的运动情况。
dzsc/18/7116/18711654.jpg
dzsc/18/7116/18711654.jpg
下述是为国内某研究所某项目设计的ZLM800测量系统。用户预先把被测物体放置在密闭箱中，密闭箱留有观察窗口。所需要测量的数据是被监视目标Ⅰ、被监视目标Ⅱ的X、Y向的角度变化量，以及这两个目标在Z方向的相对变化量。 dzsc/18/7116/18711654.jpg
ZLM800部分光路图示例
dzsc/18/7116/18711654.jpg
从X、Y和Z方向同时测量位移变化，其中X和Y在一个水平层面上
dzsc/18/7116/18711654.jpg 从X、Y和Z方向同时测量位移变化，其中X和Y不在一个水平层面上
dzsc/18/7116/18711654.jpg 在水平方向同时测量位移、偏摆和俯仰角度变化（上图） dzsc/18/7116/18711654.jpg 在垂直方向同时测量位移、偏摆和俯仰角度变化（上图） dzsc/18/7116/18711654.jpg 同时从X和Y方向测量位移和偏摆变化（上图） dzsc/18/7116/18711654.jpg 同时从X和Y方向测量运动平台两个层面的位移变化（上图） dzsc/18/7116/18711654.jpg 同时从X和Y方向测量位移、偏摆和俯仰的角度的变化（1） dzsc/18/7116/18711654.jpg 同时从X和Y方向测量位移、偏摆和俯仰的变化（2） dzsc/18/7116/18711654.jpg 同时从X和Y方向测量位移、偏摆和俯仰的变化（3） dzsc/18/7116/18711654.jpg 机床行业对线性编码器和旋转编码器的动态同步进行标定（三个轴路） dzsc/18/7116/18711654.jpg 光刻机应用布置图，测量位移和角度变化
资料
dzsc/18/7116/18711654.gif复杂光路测量的应用.pdf
dzsc/18/7116/18711654.gif系统应用简介.pdf
- 所属城市：上海 上海市
- [联系时请说明来自维库仪器仪表网]
- 联系人： 李先生
- 电话：021-50265166
- 传真：021-23010464
- 手机：13564994396
- QQ ：
双频激光干涉仪ZLM700
信息内容：dzsc/18/7116/18711655.jpg 在德国，耶拿地区以生产蔡司光学产品而闻名。位于该地区的耶拿尔（JENAer）公司生产的ZLM700双频激光干涉仪在同类产品中，由于具有独特的性能优势和简单的操作方法而久负盛名。由本公司代理，德国耶拿尔JENAer公司生产的双频激光干涉仪是真正意义上的双频干涉仪，并非单频干涉原理。 产品功能 定位精度、重复定位精度、位移距离测量、速度加速度测量、线性度、直线度、垂直度、平面度、偏摆角、俯仰角、滚动角、角速度、圆形轨迹、微振动测量，还能够测量数控机床回转台的定位精度和重复定位精度等，从而实现定位、校准、控制和补偿。ZLM700主要用于单轴系统的校准和测量，广泛应用于高速动态加工工艺中的机械定位和系统控制。 性能优势 l 真正意义上的双频激光干涉仪，频差为640MHz。请用户注意“激光干涉仪”和“双频激光干涉仪”的区别。众所周知双频激光干涉仪精度更好、性能更稳定。世界范围内只有两家双频激光干涉仪的生产商，德国耶拿尔公司是其中的一家。 l 全部部件皆在德国生...
