双极性ZNXsensor纳米级位移传感器是一种非接触式的传感器。两个传感器的板形成一个平行板电容器,每个传感器可用在两个不同的测量范围;具有纳米级分辨率,且不受电磁感应导致的信号滞后影响(零磁滞)。
纳米级位移传感器主要应用领域:压电微位移、薄膜厚度检测、振动台,电子显微镜微调,天文望远镜镜片微调,精密微位移测量等。
主要技术指标:
量程:20~1250um;
分辨率<0.1nm;零磁滞;
线性度0.02%;
频带可调范围:50~5000Hz;
灵敏度可调;
真空兼容选项。
ZCS1100是一个单一的通道,高性能线性位移测量系统,创新的电容位移测量技术,提供了纳米测量能力,成本低,适合测量任何导电目标。
应用领域
压电微位移、振动台,电子显微镜微调,天文望远镜镜片微调,精密微位移测量等。
ZLDS/N-100纳米级位移传感器都是一款理想的测量工具。 具有100微米的量程和15纳米的分辨率。纳米级位移传感器的起始测量距离是3mm,对于被测体有较宽的适用范围,比如金属,半导体和玻璃。该传感器可以很容易与现有设计相接合,而且具有较大的基准距,纳米级位移传感器可以相当于一个高分辨率的电容传感器。对于定点测量,振动测量,表面轮廓测量,ZLDS/N-100是一款非接触式高精度纳米级位移传感器 纳米级位移传感器应用领域 应用于光盘、硬盘的在线检测,还可以应用于电机等强磁场测振和表面轮廓测量。 纳米级位移传感器主要特点 高分辨率,可替代电容式传感器; 对电磁场不敏感,可用于电机等强磁场测振; 宽频带,可测高频振动体; 对被测体表面要求低,反射率4~100%均可用; 技术规格: 技术参数 ZLDS/N-100 量程μm 100 分辨率nm 15 线性度μm ...
ZLDS/N-100是一款非接触式高精度纳米级位移传感器,该传感器可以很容易与现有设计相接合,而且具有较大的基准距,纳米级位移传感器可以相当于一个高分辨率的电容传感器。对于定点测量,振动测量,表面轮廓测量,ZLDS/N-100纳米级位移传感器都是一款理想的测量工具。 纳米级位移传感器主要特点 高分辨率,可替代电容式传感器; 对电磁场不敏感,可用于电机等强磁场测振; 宽频带,可测高频振动体; 对被测体表面要求低,反射率4~100%均可用; 具有100微米的量程和15纳米的分辨率。纳米级位移传感器的起始测量距离是3mm,对于被测体有较宽的适用范围,比如金属,半导体和玻璃。 纳米级位移传感器应用领域 应用于光盘、硬盘的在线检测,还可以应用于电机等强磁场测振和表面轮廓测量。 纳米级位移传感器主要特点 高分辨率,可替代电容式传感器; 对电磁场不敏感,可用于电机等强磁场测振; 宽频带,可测高频振动体; 对被测体表面要求低,反射率4~100%均可用;