在线薄膜测厚仪
应用背景
当今微电子薄膜,光学薄膜,抗氧化薄膜,巨磁电阻薄膜,高温超导薄膜等在工业生产和人类生活中的不断应用,在工业生产的薄膜,其厚度是一个非常重要的参数,直接关系到该薄膜材料能否正常工作。如大规模集成电路的生产工艺中的各种薄膜,由于电路集成程度的不断提高,薄膜厚度的任何微小变化,对集成电路的性能都会产生直接的影响。除此之外,薄膜材料的力学性能,透光性能,磁性能,热导率,表面结构等都与厚度有着密切的联系。
解决方案
采用ZM105激光测径仪检测:将薄膜套在标准轴上,通过测标准轴和套薄膜的标准轴的直径,间接检测薄膜的厚度。精度±2μm,如下图1:
图1:ZM105
图2:检测方法
应用领域
可用于物体尺寸的非接触测量与控制,如零件高度、边缘、直径、线径、宽度、间隙、内径、外径等。有效降低了生产后的单件检验成本,并能有效节省原物料的损耗,降低人员需求。
ZM105的主要特点
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高精度:线性度±2um; |
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量程范围广:可测500mm外径的物体(可根据实际情况定制更大外径型号); |
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支持多个传感器同步采集(确保工业在线高精度差动测厚); |
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可以对操作系统实施不同的参数设置,改变测量方式; |
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在PC上十分直观的显示出测量值,方便对测量过程实施监控; |
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ZM100系列产品采用半导体激光器发射的激光(波长660nm)作为探测信号,抗干扰能力强 |
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ZM105产品采用LED光源,测量精度高 |
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系统带有额外的四条输出信号,带负载能力强; |
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在线测厚仪 测厚仪 在线测厚仪就是在生产产品时,能够时时监控生产产品的厚度的仪器。 在线测厚仪应用领域 包括各种冷热轧带钢、钢板、铝板、铝箔、铜板、铜箔、转炉内衬、木材、食品、精密器件,各类橡胶片、橡胶膜、橡胶轮胎、塑料板材、布等透明及非透明柔性板材的厚度在线测量监控。 在线测厚仪ZTMS08采用了德国进口激光位移传感器,将激光束作为接触测量时的机械探针,利用电荷耦合器件实现光电转换。ZTMS08在线测厚仪是将激光光源、光电检测和计算机工业控制技术相结合的光、机、电一体化的高新技术产品,可广泛用于生产线上对各种材料的厚度、宽度、轮廓的实时测量,具有非接触测量、不损伤物体表面、无环境污染、抗干扰能力强、精度高、数据采集、处理功能全等特点,是我国工业生产线产品质量控制的重要设备。 在线测厚仪主要特点 测厚量程量身定制,精度0.5um; 高速在线测量,测量值/秒; 多点测量,一台工控机可连接点在线测厚仪; 可连接生产线自动控制系统,实现闭环控制; 可连接公司 内部管理网络,如企业资源计划ERP; 优质激光位移探头ZLDS100,适用各种材料测量; 可按要求显示图形曲线及设定偏差报警; 系统成熟稳定,软...
直径测量 测径仪 测径传感器 激光测径仪 激光测径传感器 激光扫描直径传感器配六位LED数显仪 Table-x单轴激光扫描直径LED数显仪直径测量 单轴XLS40和XLS80传感器配六位LED数显表,由遥控器控制。有报警设定和输出,模拟输出±10V。 Table-xy双轴激光扫描直径LED数显仪直径测量 双轴XLS13XY和XLS35XY传感器配六位LED数显表,由遥控器控制。有报警设定和输出,模拟输出±10V。 Xline-x单轴激光扫描直径LED数显仪直径测量 单轴XLS40、XLS80和XLS150传感器配六位LED数显表,由遥控器控制。有报警设定和输出,模拟输出±10V。 Xline-xy双轴激光扫描直径LED数显仪直径测量 双轴XLS13XY和XLS35XY传感器配六位LED数显表,由遥控器控制。有报警设定和输出,模拟输出±10V。 通过以太网接口RS232/RS485与PC,SPS或NC通讯,完成智能超精密直径轮廓测量。 XLS40单轴激光扫描直径传感器直径测量 量程:0.06~38mm 分辨率:0.01µm 线性:±0.5µm 重复性:±0.7µm XLS80单轴激光扫描直径传感器直径测量 量程:0.75~78mm 分辨率:0.01µm 线性:±1µm 重复性:±0.2µm ILS13XY双轴...