高纯气体露点变送器Pura
品牌:密析尔
产地:英国
高纯气体露点变送器Pura产品简介
密析尔仪表目前向市场推出了简单的、经济的、相当有效的方案,用来在线测量露点值,下限低至惊人的-120℃ (相当于不到 1 ppbV)。
Pura露点变送器是基于密析尔仪表多年在阻抗露点传感器生产和校验的经验,结合标准工业化的材料和制造流程,打造出的适用于半导体制造行业和超纯气体应用场合,测量微量湿度水平的一体式变送器。
高纯气体露点变送器Pura产品特点
测量下限-120℃露点 (1 ppbV)
测量稳定,重复性好
高度集成的采样装置
模拟和数字输出
安装简便,设计紧凑小巧
VCR过程接口
显示/报警单元可选
高纯气体露点变送器Pura技术参数
传感器类型:密析尔陶瓷湿度传感器
量 程:-120 ~ -40°C 露点 (校验到 -100 ~ -40°C)
精 度:±1°C -40 ~ -60°C;
±2°C -61 ~ -100°C;
±4°C -101 ~ -120°C (估算值)
分 辨 率:0.1°C -40 ~ -79.9°C;
1°C -80 ~ -100°C;
1 ~ 3°C -100 ~ -120°C
压 力: 10-9 torr; 24 MPa
气体流量:1 ~ 5 Nl/min
电 源:通常 24 V DC, 10 V ~ 28 V , 电流 25 mA
输 出:4-20 mA 输出, 对应范围可由专用软件调整, 调整量程从 1 ~ 80°C (标配提供)
负载= 100Ω+ 50Ωx (V电源-8)
输出出错状态:标准输出出错信息如下: 23mA=传感器故障;20 mA=超上限;4 mA=超下限
传感器套筒:不锈钢, 0.1-0.2 Ra µm 电镀内抛光
气路连接端口:Premium 或 OEM 型:¼" m VCR 接口
Pura Sensor 型:½" m VCR 接口
安装配置:Premium或OEM 型:120.00mm 长,气路端口的端面密封。无需预留管路空隙
底座上有2个M4 x 0.7, 7mm 深的安装孔,斜对面横竖间距均为 20 x 20mm
Pura Sensor 型:适用于用户提供的 ½" VCR 端口中
尺 寸:Premium或OEM型:120 x 35 x 150mm
Pura Sensor 型:132 x 35mm
重 量:Premium或OEM型:450g
Pura Sensor 型:180g
包 装:Pura:双层包装, 惰性气体填充密封
Pura OEM 或 Pura Sensor 型:单层包装
所有选配件:独立包装运输
Sensor 型在传感芯片端自带保护套,用以运输及操作
在线微量湿度异动变送器PuraPlus 品牌:密析尔 产地:英国 湿度变送器Pura Plus产品简介 新型的Pura Plus是密析尔仪表针对晶圆工业对于设备尺寸和指标的需求变化而特殊设计的。Pura Plus是一款在线微量湿度异动变送器,多路安装在半导体工厂内通向生产线的气体供应最末端,用来监测超纯惰性气体的应用。工厂内气体系统分布复杂,涉及到很多分支、节点和使用点。因此在常规的湿度监测点后,会由于微量的泄漏、低效的系统设计、元件故障或过程出错等等原因导致湿气渗入,影响下游使用。而安装在分布系统中Pura Plus能够提供快速的响应指示,在20 ppb湿气级别下1 ppb的异动的响应时间小于1 分钟。 湿度变送器Pura Plus产品特点 对ppb级别湿度异动的快速响应 高灵敏度 ,实时监测 多点测量安装的全新概念 小巧经济 信号灯式的状态指示 警告和报警点设置可编程 Modbus 网络兼容 远程控制界面的多通道软件 (UHP) 超纯气体的管线检测 湿度变送器Pura Plus技术参数 响应速度 :<1 分钟 20 ppb 湿气变动1 ppb 的响应时间 湿度量程 :1 ppb to 20,000 ppm 压力范围 :0 to 10 bar 耐压等级 :300 bar 泄漏测试 :0-9 mbar l/s 工作流量范围:1 ~ 10 l/m...
Easidew TX IS 露点变送器 品牌:MICHELL 产地:英国 露点变送器Easidew TX IS特性: l ATEX认证- Ex II 1 G Ex IIC T4 l 校准于-100~+20°C露点 l 4~20mA线性输出 设置为量程: 露点-100~+20°C (-148~+68°F) 水汽成分[0~3000ppm(v)] l 两线或者三线制工作 l 反应速度快可靠性好 l 体积小巧,IP66保护级别(NEMA4) l 仅重150g l 工作电源12~28VDC l 线性4~20mA信号输出 l 极性反向保护 l 压力至40MPa 露点变送器Easidew TX IS技术参数: 变送器形式:密析尔先进的陶瓷湿度变送器 认 证:Ex II 1G Ex IIC T4 -20 +60°C ATEX证书编号:06ATEX0330X 校验范围:-100~+20°C露点 电 源:12~28 VDC 输 出:4~20 mA电流源覆盖整个露点范围 露 点 -100~+20°C ppmV 0...3000 精 度:±2°C露点 工作温度:-40~+60°C 温度系数:具有温度补偿 工作压力:40 MPa 流 量:安装在标准的采样套桶里时1~5Nl/min;直接插入方式时0~10m/sec 互 换 性:变送器完全可互换 传感器防护:HDPE防护套<10μm 80μm烧结防护套(可选) 可溯源性指标:-75~+20°C露点溯源至NPL(英国)和NIST (美国). [对于...