价 格: | 面议 |
品牌:日本三丰 型号:CV-3100 类型:数显气动量仪 适用范围:轮廓测量
技术参数
X轴 | |
测量范围 | 100mm |
分辨率 | 0.05um |
检测方法 | 反射型线性编码器 |
驱动速度 | 80mm/s和手动 |
测量速度 | 0.02-5mm/s |
移动方向 | 向前/向后 |
直线度 | 0.8um/100mm,2um/200mm*当X轴在水平方向上 |
指示精度(20°C时) | ± (1+0.01L)um*L为驱动长度(mm) |
倾斜范围 | ±45° |
Z2轴(立柱) | |
垂直行程 | 300mm |
分辨率 | 1um |
检测方法 | ABSOLUTE线性编码器 |
驱动速度 | 0-20mm/s和手动 |
Z1轴(检测器) | |
测量范围 | ±25mm |
分辨率 | 0.2um |
检测方法 | 线性编码器 |
指示精度(20°C时) | ± (2+|4H|/100)um*H为水平位置上的测量高度(mm) |
测针上/下运作 | 弧形运动 |
测针方向 | 向上/向下 |
测力 | 30mN |
跟踪角度 | 向上:77°、向下:87°(根据表面粗糙度,使用标准单切面测针) |
测针针尖 | 半径:25um、硬质合金针尖 |
电源 | 100-240VAC±10%,50/60Hz |