一代MEMS传感器芯片技术
无漂移,无滞后
精度高,响应速度快,重复性好
低功耗(使用脉冲激发电流)
可测量极小流量
经过完全校准和温度补偿
线性或开方特性输出;模拟或数字输出
主要应用:
医用设备:呼吸仪、肺活量仪、麻醉控制仪、氧气控制等
暖通空调:变风量系统 (VAV)、过滤器监控、风扇通风控制等
工业过程控制:燃烧器控制
空气和环境保护
便携式仪器
主要特点:一代MEMS传感器芯片技术无漂移,无滞后精度高,响应速度快,重复性好低功耗(使用脉冲激发电流)可精确测量极小流量经过完全校准和温度补偿线性或开方特性输出;模拟或数字输出主要应用:医用设备:呼吸仪、肺活量仪、麻醉控制仪、氧气控制等暖通空调:变风量系统 (VAV)、过滤器监控、风扇通风控制等工业过程控制:燃烧器控制空气和环境保护便携式仪器
主要特点:一代MEMS传感器芯片技术无漂移,无滞后精度高,响应速度快,重复性好低功耗(使用脉冲激发电流)可精确测量极小流量经过完全校准和温度补偿线性或开方特性输出;模拟或数字输出主要应用:医用设备:呼吸仪、肺活量仪、麻醉控制仪、氧气控制等暖通空调:变风量系统 (VAV)、过滤器监控、风扇通风控制等工业过程控制:燃烧器控制空气和环境保护便携式仪器