类型:白光干涉仪 品牌:韩国SNU 型号:SIS 2000
产品介绍 白光干涉仪SIS系列采用增加相位扫描干涉技术,是专为准确测量表面轮廓、粗糙度、台阶高度和其他表面参数而设计的微纳米测量系统,,为韩国SAMSUNG全球指定供应商,LPL友好俱乐部成员,清华大学,台湾大学,首尔大学友好合作伙伴。产品特点1、非接触式测量:避免物件受损。
2、三维表面测量:表面高度测量范围为1nm-200μm。
3、多重视野镜片:方便物镜的快速切换。
4、纳米级分辨率:垂直分辨率可以达到0.1nm。
5、高速数字信号处理器:实现测量仅需要几秒钟。
6、扫描仪:采用闭环控制系统。
7、工作台:气动装置、抗震、抗压。
8、测量软件:基于windows 操作系统的用户界面,强大而快速的运算。技术参数
机型 | SIS 2000 | |
工作台 | 尺寸 | 350mm×350mm |
倾斜度 | ±3° | |
测量行程 | X:200mm Y:200mm | |
Z轴行程 | 100mm | |
运动方式 | 自动,马达驱动 | |
扫描速度 | 30μm/sec | |
垂直分辨率 | 0.1nm | |
CCD | 黑白CCD,640×480像素 | |
物镜安装架 | 手动5个位移的可定位夹具 | |
镜头选配 | 镜头:5×、10×、20×、50× | |