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ITO导电玻璃镀膜设备
本镀膜设备是在优质浮法玻璃上采用真空磁控溅射技术,孪生阴极,中频溅射技术,并配以国际先进的控制系统,镀制SO2/ITO膜层,生产过程全部自动,连续进行。
主组成部分:
真空室:不锈钢制造,立式,外壁通冷却水,内衬不锈钢挡板。
真空系统:可选扩散泵系统,蜗轮分子泵系统或低温泵系统。
蒸发源:直流磁控溅靶和孪生阴极,中频磁控溅射靶,分别固定在真空室两例。
工件烘烤:采用不锈钢管状加热器配合均热板,确保基片加热均匀性。
充气系统:气体质量流量计和压强自动控制仪。
电气控制系统:触膜屏与PLC自动控制,人机对话方式来实现系统的数据显示;操作与控制。
水冷系统:真空室冷却和阴极冷却,有水压保护开关和水湿开关。
类型:镀膜机 适用原料:PE、PP、PS、PA、PC 品牌:汇成真空科技 型号:ITO导电玻璃镀膜设备 产品别名:真空电镀设备 产品用途:各类ITO玻璃镀膜 本镀膜设备是在优质浮法玻璃上采用真空磁控溅射技术,孪生阴极,中频溅射技术,并配以国际先进的控制系统,镀制SO2/ITO膜层,生产过程全部自动,连续进行。 主组成部分: 真空室:不锈钢制造,立式,外壁通冷却水,内衬不锈钢挡板。 真空系统:可选扩散泵系统,蜗轮分子泵系统或低温泵系统。 蒸发源:直流磁控溅靶和孪生阴极,中频磁控溅射靶,分别固定在真空室两例。 工件烘烤:采用不锈钢管状加热器配合均热板,确保基片加热均匀性。 充气系统:气体质量流量计和压强自动控制仪。 电气控制系统:触膜屏与PLC自动控制,人机对话方式来实现系统的数据显示;操作与控制。 水冷系统:真空室冷却和阴极冷却,有水压保护开关和水湿开关。
工模具超硬膜离子镀膜机: 工模具超硬膜离子镀膜机为在工具、刀具、模具上镀硬质或超硬保护膜而设计。真空镀室的真空密封和室内运动部件的设计和用材,充分考虑可承受高温,配置多只高效园形电弧蒸发源,或配多个矩形平面电弧蒸发源,也可配多只空心阴极枪,同时配置耐冲击的、具有优异灭闪弧性能的偏压电源,保证足够等离子体密度和反应活性,提高膜层致密性和结合力。工件可三维运动,提高膜层均匀性。全自动控制提高工艺稳定性。可镀制TiN、TiC、TiCN、TiAlN、TiAlCN、TiCrN、TiCrCN、TiAlCrN、多层超硬膜等,应用于精密模具业(冲压模具、剪切模具、标准件模具、成型模具等)、工具行业(钻头、硬质合金、铣刀、拉刀、丝锥和齿轮刀具等),汽车工业(活塞、活塞环、合金轮毂等)。 东莞市汇成真空科技有限公司可根据用户要求设计各种规格型号的真空镀膜机。真空机组及电控系统也可根据用户要求进行设计配置。 详情请致电我司13316689188 李国栋 经理