品牌:everbeing 型号:SR系列 用途:测试表面电阻率
表面电阻率测试探针台
可测试12" 8" 6" 晶圆或者LCD基片
除了针对标准的2"~12" (50mm~300mm) 基片表面电阻率的测试,我们欢迎客户定制,定制之前请按照以下步骤先确定规格:
对于尺寸大于300mmx300mm的基片
1. 基片具体是哪一种材质?
2. 基片尺寸有多大?
3. 探针台选用下面哪一种移动方式?
a.) 基片固定,测试头可以水平移动和上下移动。
基片越大,越节省空间。
b.) 基片可以水平移动,测试头只能上下移动。
4. 采用哪一种驱动方式? 手动测试,半自动化,或者选用自动化。
5. 测试时是否需要在特定温度?
对于需要高温环境的基片测试
基片加热台通过PID控制,可以设定测试温度。加热台通过右边的真空鼠形垫控制做环形移动。在某个位置时,打开真空按钮,真空垫会被吸附在平板上,加热台同时被锁定位置,这时,4针探头可以下压测试。测试完毕,测试头升起,样品台移动到下一个测试位置。
1. 测试温度需要多高? 150,300,400,500摄氏度?
2. 测试头选择手动下压还是气动下压?
3. 是否需要保护盒?
4. 是否需要水冷箱?
品牌:everbeing 型号:PE 用途:4英寸以下样品测试 型号:PE-4 迷你型探针台 特点 紧凑的结构 轻巧的重量 实惠的价格 可以做光电方面测试应用 LED/LD/PD的光强/波长测试 可以进行射频测试,加装东/西方向针座 适合大学实验室通用 适合4"以下晶圆测试 Chuck通过x-y方向丝杠驱动 无后座力移动 规格 真空吸附型CHUCK 4" 不锈钢材质 Chuck 行程 X-Y方向行程3" x3" Chuck 可旋转角度 0~30 ° 平台 可放置6 个针座 需求 电力 110 VAC, 60Hz 真空 -250 mmHg, 7 liter/min 尺寸 320mm长 x 320mm宽 x 400mm高 (带显微镜) 重 20 Kg (带显微镜) 可选附件 Chuck推拉装置 带真空底座的活动Chuck 显微镜倾仰装置和快速右倾装置 光强/波长测试接口部件 射频测试探头和线缆 有源探头 低电流/电容测试 高压测试...