品牌:美国MKS 型号:910 类型:便携式压力计 测量范围:0.0001-1500TORR(kPa) 精度等级:0.5% 工作压力:1500torr(MPa) 适用范围:真空
紧凑型
1,910系列传感器保函一个直读式压电传感器和一个独特的MICROPIRANI传感器
2,测量范围从0.0001-1500torr
3,具有温度补偿功能,在大的测量范围中具有高的测量精度
4,有别于传统的PIRANI压力计,910系列组成部分的MICROPIRANI单元制作在一个一平方毫米硅芯片,能在很小的体积内进行压力测量
5,传感器敏感部分的尺寸很小,能测量从常压到10-5TORR
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品牌:美国MKS 型号:902 类型:数字压力计 测量范围:0.1-1000TORR(kPa) 精度等级:0.5% 工作压力:1000TORR(MPa) 适用范围:各种气体此传感器是一个测量压力的压电传感器和一个集成电子控制电路的组合。一个直读式传感器,其压力测量与气体的种类无关。该传感器包括一个独特的温度补偿模块,在很大测量范围下都具有高精度。-低成本传感器的替代方案-紧凑型系统设计,将电路和传感器集成于一体-由于传感器具有快速的,准确的和可重复的压力测量,从而缩短了工艺周期的时间-易于操作,具备模拟输出和数字通信功能dzsc/17/6162/17616250.jpg
品牌:美国MKS 型号:909 类型:便携式压力计 测量范围:5.0x10-10 to 5.0x10-2 Torr(kPa) 精度等级:0.5% 工作压力:5.0x10-2 Torr(MPa) 适用范围:真空1,909系列将热阴极传感器和电子控制线路集成于一体,2,传感器中含有能减少停机时间的氧化钇双涂层铱灯丝。3,该传感器包括一个拥有专利保护的电子轰击除气功能。dzsc/17/6247/17624722.jpg