INFICON石英晶振片
优质的石英晶体成就优质的薄膜
INFICON石英晶体质量一流、极为可靠,在各种类型的材料、应用和行业中已有超时数百万次工艺生产应用的成功例子。
100%测试及检验
阻抗,以保证测量的稳定性和更长涂层寿命。阻抗指标的粘附和电极的电接触。
频率,启始频率测在一个小规格范围内的验证,以确保的厚度测量。
曲率是进行一种电子测试,以确保共振稳定。使稳定性差的曲率测量结果迅速下降。
可视化整合,为确保的晶体寿命和稳定性,为每个晶体的电极一致性检查,表面缺陷,以及其它瑕疵,电极附着和污染。
频率:6MHz、5MHz
电极材料:镀金、镀银或合金
使用真空分析侦控仪器--RGA(残余气体分析仪器)- 四极杆质谱仪,逐渐形成一股趋势,在制程技术层次不断提高,复杂度不断增加,单片成本提高的多种因素考量下,要维持低成本,高良率及高机台使用效益,才能更增加本身的竞争优势。而残余气体分析仪,则是一种非常有用的工具之一。 美国EXTORR残余气体分析仪特点及应用: •操作简单 •可靠,方便 •在线原位分析真空环境及工艺气体 •定性或定量分析监测溅射镀膜反应工艺过程中真空室内的气体分压强 •优化工艺过程参数,提高镀膜产品质量 •对真空系统检漏 在工艺中的效果 •改善质量 •提高流片量 •减少停机时间 •改进工艺 •缩小工艺周期 •降低成本 规格: 测量气体范围 XT100(M) XT200(M) XT300(M) 1到100 amu 1到200 amu 1到300 amu 检测类型 法拉第杯(FC)或电子倍增器(EM) 灵敏度(A/mbar) 5×10-4torr,法拉第杯,氮28, 10%峰高 分辨率 1 amu,10%峰高 最小可检分压强 10-11 torr或10-14torr(电子倍增器),氮28,10%峰高 工作范围 10-4 torr到超高真空 ...