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产品介绍
艾华仪器无尘洁净烤箱AHK系列
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无尘洁净烤箱
- 型号 : AHK系列
- 品牌 :
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详细介绍
应用 | LCD、CMOS、IC制程烘烤 |
特点 |
1.内、中桶材质采用SUS304#无磁性镜面不锈钢,外膛采用 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆,可防止微尘(PARTICLE) 2.全周氩焊,耐高温硅胶迫紧,SUS304#不锈钢电热产生器,防机台本身产生PARTICLE 3.耐高温湿日制HEPA FILTER(99.99%),能有效过滤微尘而达到洁净等级class100#。 |
规 格 表 |
型 号 | AHK-2 | AHK-3 | AHK-4 | AHK-5 |
工作空间 | 600/500/600 | 600/500/900(2箱独立) | 700/1100/1000 | 1000/600/1000 |
外 尺 寸 W/D/H ㎜ |
1060/1240/1550 | 1060/1240/1850 | 1270/1555/1830 | 1820/920/1950 |
电力 KVA |
7.5 | 9 | 12 | 12 |
温度范围 | 60~200℃(300℃) | |||
溫度系統 | Input: CA Sensor Output: SSR | |||
均 勻 度 | ±1.5%(空载测试) | |||
进 气 量 | N2 或 Clean Air MAX: 25 l/min | |||
进 气 口 | ¢6㎜ | ¢6㎜ | ¢6㎜ | ¢12㎜ |
排 气 口 | ¢3 ¨自动风门 ¢5¨自动风门 | |||
洁 净 度 | Class100#, FED-STD-2099洁净等级标准 | |||
内箱材质 | SUS304#镜面不锈钢 | |||
外箱材质 | SST41#钢板经防锈处理后高温粉体烤漆 | |||
电 热 | (SHEATHED HEATER)无尘化电热发生器 | |||
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