复合式影像测量仪是在影像测量仪的基础上增加了高精度的英国ReniShaw探头，配合Gager复合版测量软件，软件可在影像和探针间自由切换。除了具备影像测量仪的所有测量功能外，还可以完成复杂零件的深度、侧面孔位、斜面、内孔锥度和相对高度的直接测量。对复杂零件的曲面特征，测量生产的点云文件可以直接转入逆向工程软件做进一步处理。