JKZC-NHR高精度角度台
JKZC-NHR高精度角度台专用10°范围内高分辨率θ定位移动，基于粘滑仿生运动原理及特殊设计的驱动和纳米伺服技术，具有纳米级重复定位精度，可实现运动行程士5°的俯仰调节。
1、典型应用
扫描电镜(SEM)样品操纵
主动光学
超分辨成像样品移动
大范围电子束直写(EBL)
微纳装备及制造
集成电路制造与检测
高真空样品精度对准及调姿
纳米聚焦与扫描
显微及纳米CT
2、技术特点
超长运动行程：士5°
高分辨率：闭环分辨率为0.0175μrad
运动速度：可达3°/s
负载：500g
超高真空兼容性
运动模式：支持开环与闭环
轻量化、结构紧凑，高可靠性
模块化设计，摩擦单元可替换
3、2D尺寸图
4、规格参数
JKZC-NHR-60.5* | JKZC-NHR-77.5* | 单位 | |
传感器类型 | 光栅编码器(玻璃栅尺 | ||
行程 | ±5 | ° | |
大负载 | 500 | g | |
旋转中心(工作平台) | 60.5 | 77.5 | mm |
驱动类型 | 压电陶瓷 | ||
角速度 | 3 | °/S | |
最小步长 | 0.5 | μrad | |
自重 | 150 | 150 | g |
尺寸(LxWxH) | 50x50x16.5 | 50x50x16.5 | mm |
工作温度 | 10~50 | ℃ | |
电气接口 | D-sub9 | ||
线缆长度 | 2 | m | |
材料 | 铝合金/钛合金 | ||
真空(可选) | 超真空兼容(5x10-9) | mbar |
5、适配控制器
