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电阻率/方块电阻测试仪 型号:KD09-KDB-1库号:D410754 查看hh
KDB-1电阻率/方块电阻测试仪是严格按照相关
标准及标准设计制造,用来测量半导体材
料(主要是硅单晶、锗单晶、硅片)电阻率,扩散
层、外延层、ITO导电薄膜、导电橡胶、涂层
方块电阻的测量仪器。它主要由电气部份、测试架
及四探头组成。本仪器的特点是主机配置三个数
字表,在测量电阻率或方阻的同时,一块数字表实
时监测全程的电流变化,及时掌控测量电流,一
块监测2、3探间的样品电压,另一块监测当前1、
4探的测量电压,并可适当调整测量电压避免材料
耐压不够而被击穿。主机提供精度为0.05%的恒流源,
使测量电流高度稳定。并配有恒流源开关,在测量
某些薄层材料时,避免探尖与被测材料之间接触
火花的发生,地保护薄膜。配合本公司的
产品:“小游移四探头”,探采用碳化钨硬质
合金,探游移率在0.1~0.2%,保证了仪器测量电
阻率的重复性和准度。且探压力及曲率半径可
根据材料性能不同及用户需求定制。
技术参数
测量范围:
电阻率1x106~2x10Ω·cm,小分辨率1x10Ω·cm;
方块电阻:1x10~2x10‘Ω/□,小分辨率1x10Ω/□。
测量尺寸:可准测量的样品尺寸直径≥20mm;
可测量的样品尺寸≥8mm。
测量方式:平面测量。
电压表:三个数字电压表,可同时观察样品
电流、样品电压及测量电压变化。
A. 量程0~19.999mV、0~199.99 mV
B. 灵敏度:1μV和10μV
C. 基本±(0.004%读数+0.01%满度)
D. 输入阻抗﹥1000MΩ
E. 4 1/2位数字显示,0~19999
恒流源:
A. 电流输出:直流电流0.0003~1000 mA连续可调
B. 量程:1μA、10μA、100μA、1 mA、10 mA、
100 mA、1000 mA七档
C. 恒流源精度:10μA-1000 mA档均≤±0.05%,
1μA≤±0.1%
4
5
测试电压:
(1μA~10 mA档)12~80V连续可调
(100mA档)8~36V连续可调
(1000mA档)8~15V连续可调
精度:
电器精度:1-1000Ω≤0.3 %
整机测量精度:0.005-1000Ω·cm≤3%
整机:495mm×445mm×153mm(长*宽*高)
重量:≤9Kg
电源:AC220V±10%,50Hz±5%,功率:≤40W
工作环境:湿度≤60%,预热时间:20min
方块电阻测试仪方块电阻测试仪方块电阻测试仪
包含KDB-1主机、KDJ-1A手动测试架、四探头








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