- 输入电源:220V/450W
- 靶材尺寸: φ57X0.12mm
- 工作介质:空气或氩气
- 抽速: 1L/s
- 工作电流:5-45mA
全自动磁控离子溅射仪M31/GVC-2000库号D374697
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全自动磁控离子溅射仪M31/GVC-2000库号D374697
? 全自动控制,无需调整针阀
? 镀膜颗粒小,无热损伤
? 靶材换非常简单
? 特殊密封结构,玻璃不易损坏
? 内置操作向导,无需培训即可熟练操作
输入电源
220V/450W
靶材尺寸
φ57X0.12mm
工作介质
空气或氩气
抽速
1L/s
工作电流
5-45mA 连续可调
工作时间
1-999s 连续可调
放气
自动
外形尺寸
424 (L) x271 (D)X255(H)
可用靶材
金、铂、银、铜、锑等
真空室
高硅硼玻璃 φ125x125mm
真空泵
旋片泵(可选配干泵)
真空
1Pa
显示屏
5 英寸 800X480彩色触摸屏
进气
自动
名称 型号 数量
合格证 GVC-2000 1
说明书 GVC-2000 1
主机 GVC-2000 1
真空室 ~φ125×125mm 1
Pt靶 φ57×0.12mm 1
电源线 1.5米 1
内六角扳手 4/8 mm 2
备用保险管 1
卡箍及支架 K16 1
真空泵 VRD-4 1
波纹管 KF16/25-1500mm 1
油雾过滤器 KF25 1
真空脂 7501 1
无尘布 10
橡胶手套 5
清洁球 2
? 全自动控制,无需调整针阀
? 镀膜颗粒小,无热损伤
? 靶材换非常简单
? 特殊密封结构,玻璃不易损坏
? 内置操作向导,无需培训即可熟练操作
输入电源
220V/450W
靶材尺寸
φ57X0.12mm
工作介质
空气或氩气
抽速
1L/s
工作电流
5-45mA 连续可调
工作时间
1-999s 连续可调
放气
自动
外形尺寸
424 (L) x271 (D)X255(H)
可用靶材
金、铂、银、铜、锑等
真空室
高硅硼玻璃 φ125x125mm
真空泵
旋片泵(可选配干泵)
真空
1Pa
显示屏
5 英寸 800X480彩色触摸屏
进气
自动
名称 型号 数量
合格证 GVC-2000 1
说明书 GVC-2000 1
主机 GVC-2000 1
真空室 ~φ125×125mm 1
Pt靶 φ57×0.12mm 1
电源线 1.5米 1
内六角扳手 4/8 mm 2
备用保险管 1
卡箍及支架 K16 1
真空泵 VRD-4 1
波纹管 KF16/25-1500mm 1
油雾过滤器 KF25 1
真空脂 7501 1
无尘布 10
橡胶手套 5
清洁球 2