Sensofar3D经济三维光学轮廓仪

简洁 . 灵动 . 强劲.

Slynx是一款专为工业和研究所设计的全新非接触式3D光学轮廓仪。它设计简洁、用途多样。Slynx能够测量不同的材质，结构，表面粗糙度和波度，几乎涵盖所有类型的表面形貌。它的多功能性能够满足广泛的高端形貌测量应用。Sensofar的核心专利是将3种测量方式融于一体，确保了其完美的性能。配合SensoSCAN软件系统，用户将获得难以置信的直观操作体验。

三合一技术

1、共聚焦技术

共聚焦技术可用于测量各类样品表面的形貌。它比光学显微镜有更高的横向分辨率，可达0.09μm,利用它可实现临界尺寸的测量。当用150倍、0.95数值孔径的物镜时，共聚焦在光滑表面测量斜率达70（粗糙表面达86）。专利的共聚焦算法保证Z轴测量重复性在纳米范畴。

2、干涉技术

共聚焦技术可用于测量各类样品表面的形貌。它比光学显微镜有更高的横向分辨率，可达0.09μm,利用它可实现临界尺寸的测量。当用150倍、0.95数值孔径的物镜时，共聚焦在光滑表面测量斜率达70（粗糙表面达86）。专利的共聚焦算法保证Z轴测量重复性在纳米范畴。

3、多焦面叠加技术

共聚焦技术可用于测量各类样品表面的形貌。它比光学显微镜有更高的横向分辨率，可达0.09μm,利用它可实现临界尺寸的测量。当用150倍、0.95数值孔径的物镜时，共聚焦在光滑表面测量斜率达70（粗糙表面达86）。专利的共聚焦算法保证Z轴测量重复性在纳米范畴。