- 类型：测试
- 测量对象：芯片
- 测量方式：光电
- 测量时间：标准
- 测量温度：高低温
CGO-高低温探针台
温度范围77K-675K(液氮)；
可应用于真空及常规环境；
超高温度分辨率；
特殊客制低温系统；
具有极高稳定性
CINDBEST CGO-4 | 2"~6" 高低温真空探针台测试系统
探针台 特点/应用
◆ 2至6英寸样品台
◆ 高真空腔体
◆ 防辐射屏设计，样品温度均匀性更好
◆ 77K-675K高低温环境
◆ 兼容IV/CV/RF测试
◆ 外置多探针臂，移动行程大
◆ 经济实用，可无缝升级
高低温真空探针台
极低温测试:
因为晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。
高温无氧化测试：
当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时，氧化现象会越来越明显，并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差，物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。
晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。
◆ 探针台腔体规格
型号：CGO-2/CGO-4/CGO-6
样品台尺寸：2英寸/4英寸/6英寸
样品固定：弹簧压片
观察窗口：2英寸/4英寸/6英寸
真空度：10-6torr
探针臂接口：4~6个探针臂接口
其他接口：电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口
制冷方式：液氮/液氦/制冷机
温度范围：77K到573K/4.5K到573K
温控精度：0.1K/0.01K/0.001K
稳定性：±1K/±0.1K/±0.01K
外形：880mm长*880mm宽*600mm高/980mm长*980mm宽*600mm高
重量：约100千克/120千克
◆探针台 光学系统：
显微镜类型：单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜
放大倍率：16X-200X/20X-4000X
移动行程：水平360度旋转，Z轴行程50.8mm
光源：外置LED环形光源/同轴光源
CCD：200万像素/500万像素/1200万像素
◆ 探针臂
X-Y-Z移动行程：50mm*50mm*50mm
结构：外置探针臂，真空波纹管结构
移动精度：10微米/1微米
线缆：同轴线/三轴线/射频线
漏电精度：10pA/100fA/10fA
固定探针：弹簧固定/管状固定
接头类型：BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子
频率支持：DC-67GHZ
针尖直径：0.5微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米
◆ 其他组件
真空组件：分子泵组/机械泵/离子泵
冷源组件：50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷机
◆ 可选附件
超高温配件、显示器、转接头、射频测试配件、屏蔽箱、光学平台、镀金卡盘、光电测试配件、高压测试配件、分子泵组、激光系统、气敏测试配件。
