激光器特点
l 长期工作稳定性高
l RS232控制，外部GATE，TRIGGER控制
l 支持PWM功率控制
l LD模块可现场更换
l TEM00基模输出（M2<1.3）
l 体积小，结构紧凑
l 重复频率30kHz-100kHz可调
应用范围
l 薄膜蚀刻
l 材料微加工
l 微孔加工
l 晶圆切割
l 科学研究等
l 激光标记
技术参数
型号 | RM355Q-3W |
波长 | 355nm |
功率 | 3W@30KHz |
单脉冲能量 | 100μJ@30kHz |
频率 | 30~100kHz |
脉宽 | <20ns@30KHz |
光斑模式 | TEM00 (M2<1.3) |
光束直径 | 0.5±0.1mm |
功率稳定性 | <3% RMS over 8 hours |
脉冲稳定性 | <3% RMS over 10mins |
光点稳定性 | <50μrad |
光束发散角 | <2mrad (full angle) |
光斑圆度 | >90% |
控制方式 | RS232, Gate, Trigger |
制冷方式 | Air-cooling |
偏振方向 | Horizontal |
偏振比 | >100:1 |
环境温度 | 15°C ~ 35°C |
相对湿度 | 10% ~ 80%（无结露） |
预热时间 | <15mins |
工作电压 | 90V ~ 260V |
