- 企业类型:贸易商
- 新旧程度:全新
- 原产地:中国
- 速度范围:100-7000RPM
- 工作电源:AC200-230V
台式匀胶机/旋涂机 型号:TX50-12Ac
默认10和30号吸盘,也可选择
技术参数
工作电源:AC200-230V,单相,200W;
装片直径:5/10/20/30....100mm,选择两只;
程序组:1-5 段(编辑页面),12 组;
匀胶时间:3000S,分辨率 0.1S;
速度范围:100-7000RPM;
速度修正:通过 A/K 选择 Kx 试运行可自动修正转速,再回到 Kx 使用
加速度:不可修改
外形尺寸:12Ac=250mm(W)x300mm(D)x180mm(H)不含锅的高度,电机轴高度 40mm;
重量 :匀胶机 11KG,选配件真空泵 5KG;
真空输入要求:0.06-0.09MPa,真空流量 15 升/Min 以上;
真空接口:自带 6mm 管 1 米;
台式匀胶机/旋涂机 型号:TX50-12Ac
操作步骤
匀胶机控制屏,关于旋涂工艺相关的,请参考相关型号的使用说明(型号插页)
1、 接通外部真空管路系统,打开真空泵;
2、 匀胶机:按下较大的顶部的红色电源按钮,屏幕显示初始画面,此时请按下(程序组)按钮,选择程序 A1-A12 ,画面回到运行页面,
3、 放基片(硅片、玻璃片等)于吸盘中心处,打开蘑菇头红色真空开关,检查基片是否吸牢,(严禁对小于吸盘抽气槽外圆的基片涂胶)。将适量光刻胶滴于基片中心处,按下蘑菇头绿色匀胶开关,。。。。。。(有异常情况,可按一下绿色的匀胶启动按钮,吸盘将停止)等待电机停止转动后,关闭真空、取片。
4、 根据光刻胶的粘度和工作环境温度选择适当转速,一般匀胶时间大约 5~20 秒之间。
5、 将匀过胶的玻璃片立放在玻璃卡盘上放入金属盒中,根据胶的要求放入温箱进行前烘,一般的光刻胶前烘温度 90℃30 分钟。
6、 匀胶机须关闭上盖后启动、匀胶机转动时严禁用手触摸。用手去抓匀胶机吸盘,能导致本机保护,需返厂处理,请知悉。
台式匀胶机/旋涂机 型号:TX50-12Ac
台式匀胶机/旋涂机 型号:TX50-12Ac