Inficon 真空计 型号:TR48-PEG100-351-000库号:M408162
测量范围广:5
X 10-7~1
Pa
全金属冷阴极陶瓷传感器
几何电极提供了极好的点火性能
降低等离子点火高电压和钛阴极板污染的危险,即使在氩溅射过程中也一样
阳极环和钛阴极可清洗,更换容易
小磁场强度测量
LED指示灯电源和等离子点火
对数模拟输出信号
Fieldbus总线接口(Profibus
DB, DeviceNet),集成到真空系统的网络通信
用 途
高真空压强监测
蒸发和溅射系统
中,
高真空范围的一般真空测量与控制