泰克吉时利6430静电计电阻低电流表测量

6430亚fA程控源表集合了吉时利源表 和源测量单元（SMU）产品的电压源和电流 源及测量功能，比静电计灵敏度更高，噪 声更低，输入阻抗更高。这种独特的性能 是通过643 0远端前置放大器实现的，它提 供非常灵敏的双向放大器，用于测量或产 生被测试器件的电流。远端前置放大器输 出的高电平信号通过一条2米长的线缆发 送到控制主机上。这使得用户可以直接， 或者近距离连接该信号，减少线缆噪声 的影响。

主要特点:

• 0.4fA p-p (4E-16A)噪声

• 远端前置放大器可以位于信号源处以减少线缆噪声

• 电压测量的输入阻抗>1016Ω

• 高速——达2000读数/秒

• 分辨率达6位半

• 快速元件特性分析，带可编程数字I/O和接口

6430按照静电计无法达到的速度测量 电压、电流与电阻。它可以每秒读取zui多 2000源/测量读数，读入内部存储器中。 可以测量快速小电流，100nA量程可响应 短至5ms的信号，较大量程可响应几百微 秒的信号。

6430的独特特点包括其优xiu的低电 流灵敏度和远端前置放大器，这通过避 免长输入线缆发挥了灵敏度的作用。远 端前置放大器是643 0反馈测量系统的主 要部分，虽然通过长达2米，带载高电平 信号的连接线缆它能离开主机一段距离 但是它不能独立于测量主机工作。

应用

6430的功能使其同样适于在测试实 验室的研究工作和复杂元件的评估，结 合其它源测量仪器或SMU用于在较高电平 上进行低电流、高电阻或高灵敏度的半 导体测量。643 0的低噪声和漂移性能也非 常适合高阻性纳米线和其它高阻纳米材 料的研究。

高速数据处理

6430能以超过2000个读数/秒的速度 读至其内存缓冲器。IEEE-488总线输出能 每秒发送达75个源/测量读数至外部计算 机控制器，包括通过/失效指示。

643 0能提供达2.2W的4象限源， 以及低至亚fA和微伏电平的测量 灵敏度。在高达20V，它能测量从 1pA量程（仅0.4fA峰峰值噪声）至 100mA量程的电流。可提供200mV至 200V的电压范围。电流和电压量程 设置定义了源或阱电压或电流的 zui大值。

典型应用：

半导体测量

基于FET元件中的栅 极漏电或沟道漏电会在 MOSFET、FET、模拟开关和许 多其它电路中产生误差。通 过允许研究人员测量极低电 平的电流和电压，643 0能帮 助他们了解这些元件的设计 局限以及研究替代器件的结 构或材料。

测量FET的栅极漏电和沟道电

SET研究

643 0具有的优xiu低电流测量能力（<0.4fA峰峰值）使其对于单电子晶体管 （SET）和量子点研究非常有用。使用类似于锁定的技术，643 0能以1aA灵敏度测量 电流（10–18A=6电子/秒）。

测量行业的zui低噪声和漂移

下图的数据表明643 0在5小时期间内稳定性非常突出，而且短期的低噪声性能 优xiu。使用643 0的AUTOFILTER以5秒上升时间在1pA量程上实现微弱信号采集。插 图中的细节是滤波信号的截图，显示了6430型在zui开始的100秒期间的低噪声性能 （仅200aA峰峰值）。在温度变化约1°C的实验室环境下提取数据，其中643 0的IN/ OUT HI和SENSE引线接防护罩。