1、ACC-20 圆型靶标
型号：ACC-20 货号：10820001
一块圆形直径：20mm 圆度：±0.5μm
一块圆形直径：0.5mm 0.1mm 圆度：±0.5μm
2、ACC-10-网格板
型号：ACC-10-10 货号：10810101
规格：340*340mm
方格尺寸：10*10mm
：±0.5um
3、ACC-5-5纳米级台阶样板
型号：ACC-5-5 货号：10850501
外型尺寸 :5x5mm
台阶高度 :20/100/500nm, 每一个包装盒上的标志都有具体的数值结构几何 :
- 1mmx1mm的正方上每10μm间距有正方形柱子和洞
- 500
4、ACC-S1000放大倍率样板
该系列标样既可用于扫描电镜，也可用于光学显微镜（包括普通光学显微镜和激光共焦显微镜）的放大倍率校准。
1、栅格小分辨率：0.5um
2、规格： 40μm、20μm、10μm、5μm和1μm的线距
型号：ACC-S1000 货号：10810001
| 光栅区域 | 大方格 | 中方格 | A | B |
| x向水平栅距 | 2000.6μm | 1200.4μm | 40000.6 | 20000.4 |
| 及不确定度 | ± 2μm | ±1μm | ± 4 nm | ± 2 nm |
| y向水平栅距 | 2000.6μm | 1200.4μm | 40000.6 | 20000.4 |
| 及不确定度 | ± 2μm | ±1.2μm | ± 5 nm | ± 3nm |
| 正交性 | 90 | 90 | 90 | 90 |
| 及不确定度 | ± 0.01o | ± 0.01o | ± 0.01o | ± 0.01o |
| 栅距非均匀性 | ≤0.2％ | ≤0.3％ | ||
| (包括不同模版间) |
| 光栅区域 | C | D | E1 | E2 |
| x向水平栅距 | 10000.2 nm | 5000.0 nm | 2000.4 nm | 1000.4 nm |
| 及不确定度 | ± 2 nm | ±1.5 nm | ± 1 nm | ± 0.8 nm |
| y向水平栅距 | 10000.2 nm | 1000.0 nm | 1000.4 nm | 1000.4 nm |
| 及不确定度 | ± 1.5 nm | ±1 nm | ± 1 nm | ± 0.9 nm |
| 正交性 | 90 | 90 | 90 | 90 |
| 及不确定度 | ± 0.01o | ± 0.01o | ± 0.01o | ± 0.01o |
| 栅距非均匀性 | ≤0.3％ | ≤0.5％ | ≤1％ | ≤1.5％ |
