通用型微小流量热式气体质量流量控制器/计简要描述：通用型微 小流量热式气体质量流量控制器/计用于对小流量气体的质量流量进行精 密的测量和控制，通用型微小流量热式气体质量流量控制器/计具有精 度高，稳定性好，数字电路，性高，安装简单，操作方便。通用型微小流量热式气体质量流量控制器/计广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
产品特点：
高
稳定性好
数字电路
响应速度快
产品用途：广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
技术参数：
产品型号 | LF485-SC | LF485-SM |
满量程范围 | SCCM 0～5，10，20，30，50，100，200，500 SLM 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30 | |
量程比 | 控制器50:1 | 流量计100:1 |
±1.0%F.S | ||
线性 | ±0.5%F.S | |
重复性 | ±0.2%F.S | |
阀门类型 | 常闭阀 | |
响应时间 | ≤1S | |
工作压差 | 0.1...0.5Mpa | |
耐压 | 3MPa | |
工作环境温度 | 5...45℃ | |
泄漏率 | 1×10-8Pa.m3/s | |
通信信号 | RS232/RS485 MODBUS协议 | |
供电方式 | 24VDC（250mA） | |
密封材料 | 丁晴橡胶 氟橡胶 | |
接头尺寸 | 3mm 6mm 8mm 10mm 1/8” 1/4” 3/8” | |
电器接头 | DB9针 |
