| 产品类型 | 高型,快响应型,全金属密封型,数字型,抗电磁干扰 |
| 流量量程 | 2sccm,3sccm,5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm |
| 产品 | ±0.35%F.S.(<35% F.S.) ±1.0% S.P.(≥35% F.S.) |
| 重复 | ±0.2% FS |
| 线性 | ±0.5% F.S. |
| 响应时间 | ≤0.8sec |
| 工作温度范围 | (0~50)°C |
| 耐压 | 3MPa |
| 密封材料 | 金属密封 Metal |
| 输入输出信号 | (0~5)VDC,(0~20)mA,(4~20)mA,RS-485,DeviceNet,Profibus |
| 电源 | ±15V,24V,±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC |
| 阀类型 | 常开或常闭 |
| 温度系数 | Span: ≤±0.05% F.S./℃,Zero: ≤±0.05% F.S./℃ |
| 零点飘移指标 | <0.6%F.S. per year without autozero |
| 电气连接 | Profibus,D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male |
| 工作压差范围 | (0.05~0.35) MPa (F.S.≤10slm),(0.1~0.35)MPa(10slm≤F.S.≤30slm) |
| 漏率 | 1×10-10atm?cc / sec He(1×10-11 Pa?m3 / sec He) |
| 标准接头形式 | 双卡套1/4”(满量程≤30slm),双卡套Φ3 (仅适用于满量程≤5slm产品),双卡套Φ6(仅适用于满量程≤30slm产品),VCR1/4”,IGS W型,IGS C型 |
| 表面化学成分 | CrO thickness >20 Angstroms |
| 表面粗糙度 | 10μinch |
| 抗电磁干扰 | CE |
| 重量 | 1.2Kg |