VE-3021静电容量式微小位移传感器
VE-5010、VE-1020、VE-1520、VE-3020、VE-8020、
VE-2011、VE-5011、VE-1021、VE-8021、VE-3021、
VE系列静电容量式微小位移传感器可高测量金属等导体与传感器之间距离的非接触式微小位移，振动传感器。汽轮机，电动机，压缩机，机床等机械的转动轴的轴振动或面的波动测量，移动中物体的厚度，宽度的测量与控制方面是非常有效的测量工具。不仅可以测量位移量，偏曲量，弯曲量等也可以测量或用于相应的控制系统。
非接触式测量，不会对转动与振动物体产生负荷影响，由此对于被测物体的振动模态也不会产生任何影响。
共有测量范围20μm ～ 8 mm 的10种类型的传感器。被测对象为金属导体时，材质不同也不需要进行再校准处理即可测量。
VE系列静电容量式微小位移传感器可与VT-5200/5700系列位移计或CL-5610系列厚度计配套使用。
测量对象
| 金属板 | 铁，铝，钢等。 |
|---|---|
| 硅片 | 与金属同样测量。 |
| 铜箔基板 | 可以测量蚀刻处理前的两面铜箔基板的厚度。 |
| 膏状物体 | 高温烧成处理前的电池极板等膏状物体。 |
| 碳化材料板 | 各种碳化材料板状物。 |
测量时的注意事项
| 耐热绝缘铝材 | 经阳极氧化处理的耐热绝缘铝板，表面为绝缘膜测量会发生不稳定现象。 |
|---|---|
| 表面涂装材料 | 表面使用绝缘物进行涂装处理的材料，测量结果含有误差。 |
| 圆形物体 | VE系列传感器是以测量平面物为前提的传感器，测量曲面时会产生误差。 |
| 表面粗燥物 | 表面粗燥物的测量结果，比较使用接触式测量的结果要小一些。使VE系列传感器测量结果等同于将表面的凹凸进行了平均，如果表面非常粗燥，有可能不能测量。 |
| 多孔状物体 | 如果被测物为多孔状物体，根据孔分布率测量结果小于实际数据。 |
绝缘体的测量
测量对象为绝缘体时，CL-5610系列非接触静电容量式厚度计配套CL-0300绝缘体测量软件（选配），可高测量绝缘体（玻璃，蓝宝石，水晶，塑料，塑料膜等）的厚度。简要规格
标准型
| 型号 | VE-5010 | VE-1020 | VE-1520 | VE-3020 | VE-8020 |
|---|---|---|---|---|---|
| 测量范围（μm）※1 | 50 ～ 500 | 100 ～ 1000 | 150 ～ 1500 | 300 ～ 3000 | 800 ～ 8000 |
| 外形（mm）※2 | φ6 | φ8 | φ10 | φ20 | φ40 |
| 电缆长度 | 1.5m（电缆一体型） | 信号电缆VL-1520/1521 1.5m （另购） | |||
| 温度系数 | k1＝1.7×10-5、k2＝3.4×10-5 | ||||
| 使用温度范围※3 | 0 ～ +80 ℃ | ||||
φ10mm通用基柱配套型
| 型号 | VE-2011 | VE-5011 | VE-1021 | VE-3021 | VE-8021 |
|---|---|---|---|---|---|
| 测量范围（μm）※1 | 20 ～ 200 | 50 ～ 500 | 100 ～ 1000 | 300 ～ 3000 | 800 ～ 8000 |
| 外形（mm）※2 | φ3 | φ6 | φ8 | φ20 | φ40 |
| 电缆长度 | 信号电缆VL-1520/1521 1.5m （另购） | ||||
| 温度系数 | k1＝1.7×10-5、k2＝3.4×10-5 | ||||
| 使用温度范围※3 | 0 ～ +80 ℃ | ||||
※2 被测物的被测面积必须大于传感器的测量面的面积。
※3 使用温度范围指传感器可以测量使用的温度范围，不是确保传感器的直线性状态的温度范围。
确保传感器的直线性状态的温度范围＋23 ℃±2 ℃。VE系列的温度特性请参阅[ VE传感器温度特性 ]的说明
配套信号电缆（另购）
| ●VL-1520（两端直型接头，电缆长度1.5 ｍ） |  |
| ●VL-1521（L型接头 - 直型接头，电缆长度1.5 ｍ） |  |
