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产品描述
RTS-8型数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的,专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器。
仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成,测量数据既可由主机直接显示,亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析,然后以表格,图形方式统计分析显示测试结果。
特点
(本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。RTS-8型四探针软件测试系统是一个运行在计算机上拥有友好测试界面的用户程序,通过此测试程序辅助使用户简便地进行各项测试及获得测试数据并对测试数据进行统计分析。
技术参数
测量范围
电阻率:10-5~105 Ω.cm(可扩展);
方块电阻:10-4~106 Ω/□(可扩展);
电导率:10-5~105
s/cm;
电阻:10-5~105 Ω;
可测晶片直径
140mmX150mm(配S-2A型测试台);
200mmX200mm(配S-2B型测试台);
400mmX500mm(配S-2C型测试台);
恒流源
电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档,各档电流连续可调
数字电压表
量程及表示形式:000.00~199.99mV;
分辨力:10μV;
输入阻抗:>1000MΩ;
:±0.1%
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公司简介
海富达是北京海富达科技有限公司的简称,它隶属于中西集团,该集团成立于1988年,是一家集国际贸易、矿山资源开发、生产制造、系统集成、工程咨询和维修服务的企业;在国内、外设有多个办事处和合资公司。 海富达是高科技产品系统集成商。它大量引进国外各种先进的在线、离线仪器仪表、机械设备与材料,为各行业用户提供了大量的产品和服务,尤其在石油、化工、环保、电子、冶金、机械、光学、通讯、科技教学、医疗卫生等领域,与世界众多厂家有密切合作关系。