- 品牌/商标：FilemtricsF54
- 企业类型：贸易商
- 新旧程度：全新
- 产品型号：FilemtricsF54
- 原产地：美国
膜厚测量仪 Filemtrics F54
自动化薄膜厚度分布图案系统
依靠F54先进的光谱测量系统，可以很简单快速地获得直径450毫米的样品薄膜的厚度分布图。采用r-θ极坐标移动平台，可以非常快速的定位所需测试的点并测试厚度，测试非常快速，大约每秒能测试两点。系统中预设了许多极坐标形、方形和线性的图形模式，也可以编辑自己需要的测试点。只需掌握基本电脑技术便可在几分钟内建立自己需要的图形模式。
可测样品膜层
基本上所有光滑的。非金属的薄膜都可以测量。可测样品包括：
氧化硅 | 氮化硅 | 类金刚石DLC |
光刻胶 | 聚合物 | 聚亚酰胺 |
多晶硅 | 非晶硅 | 硅 |
200毫米夹盘 | 200毫米夹盘 | |
样品尺寸： | ≤ 直径200毫米 | ≤ 直径300毫米 |
速度（含有真空夹盘） | 5点-5秒 | 5点-8秒 |
25点-14秒 | 25点-21秒 | |
56点-29秒 | 56点-43秒 | |
基本要求 | ||
尺寸： | 14W X 19D X 22H（英寸） 35.5W X 43.8D X 55H （厘米） | |
重量： | 41lbs （19kg） | |
测量参数 | F54-UV | F54-UVX | F54 | F54-EXR | F54-NIR |
5x 物镜厚度范围*： | - | - | 20 nm-40 μm | 20 nm-120 μm | 40 nm-120 μm |
10x物镜厚度范围*： | - | - | 20 nm-35 μm | 20 nm-70 μm | 40 nm-70 μm |
15x 物镜厚度范围*： | 4 nm-30 μm | 4 nm-100 μm | 20 nm-40 μm | 20 nm-100 μm | 40 nm-100 μm |
50x物镜厚度范围*： | - | - | 20 nm-2 μm | 20 nm-4 μm | 40 nm-4 μm |
100x物镜厚度范围*： | - | - | 20 nm-1.5 μm | 20 nm-3 μm | 40 nm-3 μm |
测量n和 k厚度要求1*： | 50 nm | 50 nm | 100 nm | 100 nm | 500 nm |
准确度*：大于0.4% 或 | 1 nm | 1 nm | 2 nm | 2 nm | 3 nm |
2： | 0.02 nm | 0.02 nm | 0.02 nm | 0.02 nm | 0.1 nm |
稳定性3： | 0.05 nm | 0.05 nm | 0.05 nm | 0.05 nm | 0.12 nm |
基本要求 | |||||
光谱仪波长范围： | 200-1100 nm | 200-1700 nm | 400-850 nm | 400-1700 nm | 950-1700 nm |
光源： | 外置 氘灯 + 钨卤素灯 | 内置 钨卤素灯 | |||
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