Filmetrics 光学膜厚测量仪

Filmetrics F60-t 光学膜厚测量仪

Filmetrics 优势
嵌入式在线诊断
离线分析软件
精细的历史数据功能，帮助用户有效的存储，重现与绘制测量结果

现场演示/支持
点几下鼠标就可以在网络上在线看到现场演示！请联系我们，我们的应用工程师会在电脑上为您演示薄膜测量是多么容易！

自动化薄膜厚度绘图系统
依靠 F60 先进的光谱测量系统，可以很简单快速地获得薄膜的厚度分布图。 采用 r-θ 极坐标移动平台，可以非常快速的定位所需测试的点并测试厚度，测试非常快速，大约每秒能测试两点。用户可以自己绘制需要的点位地图。 在约 45 秒的时间就可以扫描完标准 49 点分布图

可测样品膜层
基本上所有光滑的、半透明的或低吸收系数的薄膜都可以测量。例如：
氧化硅 氮化硅 类金刚石 DLC
光刻胶 聚合物 聚亚酰胺
多晶硅 非晶硅 硅

相关应用
半导体制造
光刻胶  氧化物  氮化物

光学镀膜
硬涂层 抗反射涂层 滤光片

液晶显示器
盒厚 聚酰亚胺 ITO

生物医学
聚对二甲苯 生物膜 硝化纤维

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