一. 概述
复合真空仪，是新型的真空测量仪，它针对国内热电偶真空测量的实际情况，将国产热偶传感器和美国Hastings公司的热堆传感器的仪表组合成一个仪表，通过面板按键切换传感器测量的种类，测量数据则采用计算机技术进行优化处理，了产品功能性、实用性和方便性，可应用于航天、机械、石油、化工、冶金、电子及、低温液体贮运设备等领域的各类真空测量。产品合/T6873-2005。
二. 工作原理
1．ZJ-51热偶规管
根据低压强下气体分子热传导特性，当热偶规管热丝的加热电流恒定时，热丝的温度将随管内的压强而变化，当压强降低时，气体分子的热传导运动减弱，热丝的温度升高；反之，热丝的温度减小，热偶规管输出的热电势反映了热丝温度的变化，只要测量规管的热电势值，与之对应的系统压强就确定了。规管输出的热电势经计算机非线性处理后送液晶显示。
2. DV-6R热堆传感器
美国Hastings公司DV-6系列真空测量传感器是用贵金属材料制作的热电偶真空传感器（附图）。用低电压的交流电桥对其热电偶A和B进行加热，当真空系统中压力的变化引起气体分子碰撞的变化时，热电偶周围的气体或气体混合物的之间热传导随之变化，这使得热电偶A和B的温度变化，而温度的变化将引起热电偶A和B之间的直流输出变化（和压力变化方向相反），热电偶C用以对环境温度的瞬时变化进行补偿。热偶变化的热电势反映了热丝温度的变化，测量热电势值，与之对应的系统压强就确定了，传感器输出的热电势经计算机非线性处理后送液晶显示。
三 传感器技术指标
1 ZJ-51型的主要技术指标
1.1 量 程：66.5Pa～ 0.1 Pa 1.2 真空度误差：± 15 %
1.3 加热电流 ：90～130 mA
2 DV-6R型的主要技术指标
2.1 量 程：1Torr～0.001 Torr
2.2 真空度误差：±(读数的15 %+0.001 Torr)（）
2.3 连 接尺 寸：1/8＂npt公螺纹 2.4 操作温度：－20 ～ +60℃
四 仪器的技术指标
1 ZJ-51型
1.1 测 量 范 围：500Pa～0.1Pa（0～ 100格）
1.2 误差范围：68Pa～0.1Pa 1.3 压力限误差：±20 %
1.4 加热电流范围：80mA～130mA 1.5 加热电流误差：±0.5%
2 DV-6R型
2.1 测 量 范 围：450Pa～0.1Pa 2.2 误差范围：133Pa～0.1Pa
2.2 压力限误差：±20%
3 其它技术指标
3.1 工作电源：DC8V；充电AC220/50Hz 3.2 显示位数：四位数码LCD
3.3 重 量：0.3Kg 3.4 功 率： 3 VA
3.5 外型尺寸：185×95×38 mm3
