行程： 50 to 250mm；
分别率：1um/步；
无回滞，刚；
承载能力：20kg；
可堆叠 XYZ三轴平台
真空度：1 x 10-10 mBar；
烘烤温度：200°C；
交叉滚子轴承；
： 1 x 106 Gy ；
可以根据客户要求定制；
规格
单位
LTVL
LTVH
行程
mm
50/ 100 / 150 /200 /250
50/ 100 / 150 /200 /250
整步分别率
μm
5
1
速度
mm/s
15
4
推荐真空环境中速度
mm/s
2
0.8
重复定位
μm
1
0.2
水平负载能力
kg
20
20
负载力矩
Nm
<5
<5
轴向力 @ 500Hz Iφ = 1A
kg
3
10
间隙
μm
0
0
转动, 俯仰 & 偏载 (无负载
μrad
<25
<25
Roll Compliance
μrad/Nm
33
33
Pitch & Yaw Compliance
μrad/Nm
33
33
直线度
μm
<1.3μm / 100mm
<1.3μm / 100mm
使用步进电机
D35.1
D35.1
真空度
mBar
1 x 10-10
1 x 10-10
恩度
°C
200
200
MTBF (5kg负载和30%占空比)
hrs
15,000
10,000
北京星微自动化科技有限公司
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