伯东德国 Pfeiffer 涡轮分子泵应用于激光分子束外延系统
上海伯东客户某真空设备商采购 Pfeiffer 涡轮分子泵用于激光分子束外延系统。
激光分子束外延(Lazer E)是一种晶体生长技术，将半导体衬底放置在真空腔体中，和将需要生长的单晶物质按元素的不同分别放在炉中，由分别加热到相应温度的各元素出的分子流能在衬底上生长出薄的，可薄至单原子层水平，单晶体和几种物质交替的晶格结构。
分子束外延主要研究的是不同结构或不同材料的晶体和晶格的生长。该方法生长温度低，能严格控制外延层的层厚组分和掺杂浓度。
分子束外延系统对真空度要求及其高，对真空腔体的密封性、材料放气率、微量杂质气体和水蒸气比较敏感，本系统采用伯东德国 Pfeiffer 分子泵对真空腔体进行抽真空，真空及真空的稳定性，对晶格的生长起到很好的作用。
客户：上海某设备商 Lazer E 真空系统
系统运行条件：
1. 主要针对金属薄膜及材料器件的氧化物外延生长。
2. 真空生长室，直径12英寸。
3. 额定基压：<1x10-6 Torr
4. 配有12个加热泄流源.
5. 衬底加热器加热温度950℃
6. 可放置6个1"的靶及3个2"的靶
7. 质量流量计控制进入真空腔的流量，量程 100sccm.
8. 线型进样室实现全自动送片
激光分子束外延伯东 Pfeiffer 分子泵配置:
1.分子泵 Hipace 400 *1
2.隔膜泵 MVP 020 *1
3.分子泵 Hipace 80 *1
4.隔膜泵 MVP 015-2 *1
5.全量程真空计(PKR 251+TPG 261)*1
上海伯东主营产品：德国普发 Pfeiffer 涡轮分子泵，干式真空泵，罗茨真空泵，旋片真空泵；应用于各种真空环境下的真空计，氦质谱检漏仪，质谱分析仪以及美国考夫曼公司 KRI 离子源 离子 霍尔源，美国 HVA 真空阀门，Polycold 冷冻机，离子刻蚀机等。
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