- 品牌/商标：KAMAN
- 原产地：USA
KAMAN高电涡流传感器SMT9700定位原子显微镜垂直轴
KAMAN高电涡流传感器SMT9700硅晶片上的膜是通过化学气相沉积（CVD）生成的。怎样确保在晶片上形成均匀的化学层沉积呢？
KAMAN在涡电流测量技术领域有超过三十年的行业经验，基于他们的丰富经验，并有多种系列的产品可根据客户要求订做。KAMAN技术的优点体现在：非常稳定，高，可重复性好；尤其适合金属测量；抗潮湿、灰尘和其他污染物。KAMAN传感器尤其适合苛刻的工况，有些特制产品在高温高压中同样可以发挥卓越性能。
SMT-9700化学沉淀反应开始之前，用KAMAN电涡流传感器确保半导体晶片圆盘是平行于气体分散喷头（参见图1）。当然该传感器是用于校验过的，量程在半导体晶片圆盘位置限定之内。
SMT9700是一款专门为客户定制的OEM电涡流传感器产品，可测非导磁体和铁磁材料，有1、2或3通道可配电涡流探头。电涡流传感器材料、线性、分辨率、带宽各种性能可自行优化，埃米级分辨率，符合CE和RoHS标准，尺寸小巧，可配13种电涡流探头。
SMT9700电涡流传感器主要特点：
供电电压：15～30V，<50mA(有容错保护、短路保护)
工作温度：0～70oC(补偿范围15～55oC)
有1、2或3通道可配电涡流探头
埃米级分辨率
尺寸小巧
可配13种电涡流探头
符合CE和RoHS标准
输出负载电流<20mA(有短路和过载保护)
SMT9700常用领域电涡流传感器应用领域
原子显微镜垂直轴定位、光学平台位置测量、半导体和光器件的研磨、半导体模板对齐系统、蒸镀系统、电子显微镜垂直轴定位、磁悬浮轴控制、部件研磨加工的定位、镜片控制、物质收缩测试测量、机械结构变形探测与测试。
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