美国porter热式高压耐腐蚀气体质量流量控制器设计特点 点漂移： ± 0.05 % 满量程 / ℃ 供应电源 ： 美国porter热式高压耐腐蚀气体质量流量控制器结构材质 主体： 316SS 美国porter热式高压耐腐蚀气体质量流量控制器选型表 型号 流量范围 小/ N2 操作压力 PSIG(MPa) 重量 Ibs(Kg) 201 0-5SCCM/0-10SLPM 1000(6.9) 1.2(0.54) 202 0-10SLPM/0-100SLPM 1000(6.9) 4.1(1.86) 221 0-5SCCM/0-10SLPM 3000(20.7) 4.1（1.86） 222 0-10SLPM/0-100SLPM 3000(20.7) 4.1（1.86） 251 0-10SLPM/0-50SLPM 1000(6.9) 1.4（0.64） 202A 0-10SLPM/0-100SLPM 200(1.4) 5.1（2.31） 203A 0-100SLPM/0-500SLPM 200(1.4) 10.9（4.95） 204A 0-500SLPM/0-1000SLPM 200(1.4) 10.9（4.95）
热式原理
一体化设计
满量程从 5SCCM 到 1000SLPM
响应时间不过 2 秒钟
操作压力可达 20.7MPa
对安装位置不敏感
316SS 材质，允许测量腐蚀性气体
无直管段安装要求
单电源供电
美国porter热式高压耐腐蚀气体质量流量控制器技术参数
流量范围 ：从 0-5SCCM 到 0-1000SLPM N 2 ，具体请参考表一
响应时间 ： 1 ～ 2 秒
精 度 ： ± 1% 满量程（除 204A 型）
---------± 1± 1.5%.满量程（ 204A 型）
重 复 性 ： ± 0.2% 满量程
量 程 比 ： 50:1 （ 2%-100% 满量程）
环境和操作温度 ： -10 ～ 70 ℃
操作压力 ： 3000PSIG （ 20.7MPa ），具体请参考资料
范围漂移 ： ± 0.05 % 读数 / ℃
压力漂移 ： 0.1%/atm （相对于 N 2 ）
安装方向 ： 对位置不敏感
预热时间 ： 10 分钟
电气连接 ： 卡式 （ 20 针）或 D 型（ 9 针）
设定点输入流量信号输出 ：0-5VDC/0-5VDC；4-20mA/4-20mA
电压输出：＋ 12( ± 5 ％ ) （适用于 0-5VDC 和 1-5VDC 流量信号输出）或 +15( ± 10 ％ )VDC
电流输出：＋ 15( ± 5 ％ ) 或 +24( ± 15 ％ )VDC
电流消耗：＜ 250mAdc
重 量 ：请参考表一
传感器组件 ： 316LSS
孔： 316SS
阀构成部件 （接液）：
302SS ， 316SS ， 430FSS ， Sandvik?1802 （除 202 、 221 、 222 和 251 型）；302SS ， 316SS ， Sandvik?1802 （ 202 、 221 、 222 和 251 型）
密封材质（” O ”型环和阀座）：
Buna N ， EPDM ， Kalrez ， Neoprene ， Viton （除 202A 、 203A 和 204A 型）；Buna N ， Viton（ 202A 、 203A 和 204A 型）
过程连接： 316SS
美国porter热式高压耐腐蚀气体质量流量控制器
