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SVS-7シリ-ズ(絶対圧基準高真空スイッチ)压标准高真空开关
1.3~100kPa(10~756Torr)という高真空から低真空まで設定可能な真空スイッチです。
真空内検出素子として、ベロ-ズ内部を高真空状態で密封したものを使用している為気圧の変動を受けにくい構造になっています。
半導体製造装置、化学分析装置、真空蒸着装置、メカニカルブ-スタ-ポンプ等に数多く使用されています。
取りつけは、フランジ型とネジ込み型を用意しています。又VCR、ヘル-ルも可能です。
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SVS-7シリ-ズ(絶対圧基準高真空スイッチ)压标准高真空开关
1.3~100kPa(10~756Torr)という高真空から低真空まで設定可能な真空スイッチです。
真空内検出素子として、ベロ-ズ内部を高真空状態で密封したものを使用している為気圧の変動を受けにくい構造になっています。
半導体製造装置、化学分析装置、真空蒸着装置、メカニカルブ-スタ-ポンプ等に数多く使用されています。
取りつけは、フランジ型とネジ込み型を用意しています。又VCR、ヘル-ルも可能です。