表面沉降粒子检测仪APMON
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APMON表面沉降粒子检测仪的工作原理
检测设备采用面积的内置玻璃板承载坠落颗粒，玻璃板以45度角放置，这样坠落的颗粒在玻璃板上沉积的过程就会被检测到，APMON检测仪对大于20μm的沉积颗粒的数量和尺寸以及在传感器上的分布位置进行测量，通过测量得出平均颗粒沉积率。
测量的数据能够帮助解决洁净室常规手段监控不到的污染成分，并能帮助优化用户的生产流程。
当产品突发性不良率上升时，先会怀疑洁净室的空气洁净度，使用尘埃粒子计数器进行检测是常规作法。如果测量结果正常，就要进行更进一步的调查。
通过对表面洁净度和粒子沉降的测量显示很多颗粒的尺寸大于50μm或100μm，而这些大尺寸颗粒的来源通常是操作者和洁净室不洁净的表面，一般尺寸大于25μm的坠落颗粒是不能通过洁净室空气循环系统排出的。
沉降粒子的来源：人员产生粒子、携带高浓度粒子、散发粒子；设备和物料产尘或表面存在粒子；洁净室材料表面存在粒子等，通过个人行为、更衣流程、培训、清洁生产加工设备、清洁工具和洁净室，可明显降低不良品率。
APMON表面沉降粒子监测仪主要包括以下部分：
设备主体 传感器
玻璃板托盘
APMON表面沉降粒子检测仪的工作原理：检测设备采用面积的内置玻璃板承载坠落颗粒，玻璃板以45度角放置，这样坠落的颗粒在玻璃板上沉积的过程就会被检测到，APMON检测仪对大于20μm的沉积颗粒的数量和尺寸以及在传感器上的分布位置进行测量，通过测量得出平均颗粒沉积率。
测量的数据能够帮助解决洁净室常规手段监控不到的污染成分，并能帮助优化用户的生产流程。
APMON表面沉降粒子检测仪的工作原理 主要技术参数如下
参数 型号 | APMON |
可检测粒子范围 | 20μm～1000μm |
测量表面 | 25cm2 |
PDR(颗粒沉降率) | 99%置信区间±6% |
储存数据 | 10000组 |
设备连接传感器的数量 | 以太网连接 6个 蓝牙连接 2个 |
