225--高分辨正入射真空光谱仪
主要特点：
>15度正入射光路结构
>小像差及偏振
>通量密度
>凹面自聚焦光栅，尤其适合CCD、MCP等阵列探测器
>洁净不锈钢结构，高真空度
>分辨率可达0.005nm
>如需更高分辨率另有2m、3m、5m、6.6m焦距可选
主要技术参数 | |
波长范围 | <30nm-300nm* |
光学结构 | 正入射 |
真空度支持 | 10-6Torr,或10－10Torr |
焦距长度 | 1 m |
分辨率，半高宽 | 0.01nm* |
色散 | 0.83nm每毫米* |
校准 | 0.1nm* |
重复性 | 0.005nm* |
步距 | 0.0002nm* |
焦平面尺寸 | 25mm |
数值孔径 | f/10.4 |
光栅尺寸 | 56*96mm |
充氮气 | 可选 |
可选探测器 | CCD、MCP或单点探测器 |
狭缝 | 10um-2mm连续可调，高度2-20mm可调，手动或电动可选 |
*以上参数均为1200g/mm光栅参数
不同光栅主要参数 | ||||||||
光栅密度（g/mm） | 3600 | 2400 | 1800 | 1200 | 600 | 300 | 150 | 75 |
分辨率** | 0.005 | 0.008 | 0.01 | 0.015 | 0.03 | 0.06 | 0.12 | 0.24 |
色散（nm/mm） | 0.28 | 0.42 | 0.56 | 0.83 | 1.66 | 3.32 | 6.6 | 13.3 |
波长范围30nm至 | 100nm | 150nm | 200nm | 300nm | 600nm | 1.2um | 2.4um | 4.8um |
**分辨率测试条件：10um狭缝宽度，2mm狭缝宽度，313.1nm
其他可选焦距正入射谱仪 | |||
焦距长度（m） | 2 | 3 | 5 |
波长覆盖范围 | 300nm | 300nm | 300nm |
分辨率（nm）@313.1nm | 0.007 | 0.005 | 0.003 |
色散（nm/mm） | 0.42 | 0.28 | 0.17 |
