PE-100实验室等离子表面处理机
等离子表面处理机是一种非破坏性的表面处理设备，它是利用能量转换技术，在真空负压的状态下，以电能将气体转化为高的气体等离子体，气体等离子体能轻柔冲刷固体样品表面，引起分子结构的改变，从而对样品表面污染物进行清洗，在短时间内污染物就被外接真空泵彻底抽走，其清洗能力可以分子级。在条件下还能使样品表面特性发生改变。因采用气体作为清洗处理的介质，所以能避免样品的再次污染。等离子清洗器既能加强样品的粘附性、相容性和浸润性，也能对样品进行和。等离子清洗器现已广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、高分子、生物、微观流体学等领域。小型等离子清洗机以体积小、成本低、操作简便等特点广泛应用于科研及小批量生产场合。
PE-100参数:
标准系统特点
电: 229mm*330mm，均可配三层电，间距76mm
等离子发生器功率:300W,100 KHz （连续可调）
质量流量控制器: O-50cc （连续可调）
Pirini真空计：0-1Torr
控制器：基于WINDOWS操作系统的控制系统
真空泵：8CFM氧气
耐用铝合金真空腔体
可选配置
等离子发生器功率和频率:300W ，13.56 MHz
过程温度控制
自定义电配置
RIE（反应离子电）配置
静电屏蔽
系统规格
等离子控制台：432mm* 711mm*762mm 重量：73Kg
真空泵：
