主要特性与技术指标
一般特性
- 使用平面反射镜光学器件可实现 0.15 nm 的位置分辨率
- 使用 15 MHz 分裂式激光头，平面反射镜级速度 &plun; 2.29 m/s。
- 接收机灵敏度：0.065 µW
- 循环误差补偿选件现已发布
与平面反射镜光学器件一起使用
- 分辨率： 0.15 nm
- 使用 15 MHz 分裂式激光头时的速度： &plun; 2.29 m/s；使用 7.5 MHz 分裂式激光头时的速度： &plun; 1.1 m/s
计时
- 定位更新速率： 10 MHz
具体特性
- 每个系统配备多达 8 个电路板，用于 31 个轴的同时测量
- 10/100 Base T LAN 连接；支持 DHCP；使用 Web 浏览器设置多种触发选项来进行定时数据捕获
- 以 10 MHz（10 个位/轴）的频率同时输出 4 轴位置
- 以 10 MHz/(轴数)的频率提供 36 位双路补偿硬件位置输出
