激光测量光束借助于一个物镜聚焦于物体表面。由于物镜的位置是被连续调整的,因而激光束的焦点总是与物体表面重合。
表面轮廓和局域光的反射是被同时测量的。因而,本组件可测定各种边缘和各种材料。传感器功能可以借助于仪器上配备的软件宏进行控制。这些宏指令可以装载于已有的软件中。
AFS传感器具有表面复现高度的特点。
作为一个选择项,传感器可配备微型照相机适配器,以便能够对表面片段的观察直接进入镜头,使激光光束精密定位。采用开发、高度集成的BMT-IC,传感器热漂移低。采用大数值孔径物镜,仪器无论在垂直方向还是在水平方向均能提供较高的分辨率。
主要用途:
◆ 具有高表面复现的表面粗糙度和轮廓的测量
◆ 精密位移测量
◆ 微机械件的尺寸测量
◆ 冶金金相测量
◆ 振动测量
◆ 厚度测量
◆ 直线度, 平面度,弧度的测量 主要特点:
◆ 非接触式表面轮廓测量、反射性能的测量、垂直和横向的尺寸测量
◆ 的通过透镜观测描绘被测物体表面特征的传感器
◆ 微型化的传感器
◆ 分辨率1nm
◆ 可达2000µm大的测量范围
◆ 光斑直径< 1µm
◆ 适用已确定的制造业的几乎粗糙度测量体系
◆ 连续聚焦 主要优点:
◆ 在高轮廓复现下对3D结构进行快速的非接触式测量
◆ 测量结果与表面结构无关
◆ 数据采集和评估可归并到已有的软件中
◆ 具有可组装性,可组装到已有的系统中 技术数据:
型 号 | AFS 1 传感器 | AFS 2传感器 | TFS传感器 |
测量范围祄 | ± 500 / ± 50 | ± 1000 / ± 100 | ± 500 / ± 50 |
垂直分辨率 nm | 1 | 1 | |
工作距离 mm | 2 | 2 | 13 |
激光班直径(约)µm | 0.5 | 0.5 | 1 |
测量频率* kHz | 20 | 20 | 20 |
视场倾角** ° | 20 | 20 | 15 |
激光波长 nm | 635 | 635 | 635 |
激光等级 | 1 | 1 | 1 |
外形尺寸 mm | 52 x 25 x 58 | 52 x 25 x 58 | 52 x 25 x 58 |
重量(约)g | 100 | 100 | 100 |