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供应MKS 1559A质量流量控制器

产品价格：: 电议

产品型号：

供应商等级：: 免企业未认证

经营模式：: 贸易商

企业名称：: 深圳市利方达科技有限公司

所属地区：: 广东深圳市

发布时间：: 2014/5/4 18:46:44

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刘孟辉(联系我时，请说明是在维库仪器仪表网看到的，谢谢)

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企业档案

深圳市利方达科技有限公司

免企业未认证证营业执照未上传

经营模式：贸易商

所在地：广东深圳市

主营产品：膜厚控制仪;电子枪;旋片泵;射频电源;分子泵;干泵;氦质谱检漏仪;真空规管;真空阀门;压强控制仪;残余气体分析仪;晶振片;晶控仪;质量流量计;质量流量控制器;压电阀;四极质谱;真空计;薄膜规;磁控靶

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质量流量控制器（大流量，常闭阀）

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1559是一种通用型弹性密封的质量流量控制器，可在20slm(42.5cfh)到200slm(425cfh)量程范围进体的质量流量控制。相比于其它的大流量控制器，1559的控制阀门能够消除振荡、具有更好的响应时间。它的这个特点是通过使用一“平衡力”阀门的设计来实现的，它能够消除管道压力引起控制阀门内部的非平衡状态。1559的为全量程的±1％。

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例：型号1559A00421LS1BV&sp;&sp;&sp;&sp;

&sp;采购序列号&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp; &sp;

校准气体（SEMI气体编号）*

Helium, He&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp; 001

Argon, Ar&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp; 004

Hydrogen, H2&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp; &sp;007

Nitrogen, N2 &sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp; &sp;&sp;&sp;013

Oxygen, O2&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp; &sp; 015

&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;

**校准流量SLM－sccm（相当氮气200SLM）

20&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp; 021L&sp;&sp;

50&sp;&sp; &sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp; 051L&sp;&sp;

100 &sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp; &sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp; 12L&sp;&sp;

200&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp; 22L&sp;

&sp;

装配件（Y）

标配：Swagelok 0.5英寸管&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp; &sp; S&sp;&sp;&sp;

选配：Swagelok^R 8VCR^R 凸接头 &sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;R&sp;&sp;

选配：Swagelok^R 8VCO^R 凸接头&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp; &sp;&sp;&sp; G&sp;&sp;&sp;

&sp;

阀

常闭&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp; &sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp; &sp;&sp; 1

&sp;

电气/通讯连接器

模拟15针D &sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp; &sp;&sp;&sp;&sp; B

&sp;

密封（Z）

标配: Viton^R&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp; &sp;V&sp;&sp;

选配: Neoprene^R&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp; &sp;&sp;&sp; N&sp;&sp;&sp;&sp;

选配: BunaN&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp; B&sp;&sp;&sp;

选配: Kalrez^RR&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp; &sp;&sp;&sp; K&sp;&sp;&sp;

&sp;

用于1559A的电缆线

CB259-5-10用来将1559连接至PR4000, 246, 247&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;

（如要在247上连接2个以上的通道，需要添加一个电源，请用CB1559-1-10） &sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;

CB147-1-10用来将1559连接至146, 186, 647, 167&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;

CB1559-1-M1用来连接1559A、247D和260PS&sp;