2179是一种通用型弹性密封的质量流量控制器,它带有一个关闭阀,可在多种应用场合测量和控制气体的流量。配上合适的压力传感器,它还可以用作压力控制器。
常闭的气密关闭阀门正向关闭时的泄漏量为4 x 10-9 scc/sec(He)。它具有数字和模拟两种模式,其为全量程的1%和读数的1%。2179具有很小的功耗:在常规直流&plun;15V供电工作时,单元电流有100mA(在初开机阶段为200mA)。
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主营产品:膜厚控制仪;电子枪;旋片泵;射频电源;分子泵;干泵;氦质谱检漏仪;真空规管;真空阀门;压强控制仪;残余气体分析仪;晶振片;晶控仪;质量流量计;质量流量控制器;压电阀;四极质谱;真空计;薄膜规;磁控靶
2179是一种通用型弹性密封的质量流量控制器,它带有一个关闭阀,可在多种应用场合测量和控制气体的流量。配上合适的压力传感器,它还可以用作压力控制器。
常闭的气密关闭阀门正向关闭时的泄漏量为4 x 10-9 scc/sec(He)。它具有数字和模拟两种模式,其为全量程的1%和读数的1%。2179具有很小的功耗:在常规直流&plun;15V供电工作时,单元电流有100mA(在初开机阶段为200mA)。