产品特点: | MY系列氩气净化器是用于普氩提纯后可高纯氩(99.9999%)而设计的,主要是为直读光谱仪、ICP(等离子发射光谱)、质谱仪、色谱(气相/液相)、熔炼炉吹氩系统、硅行业保护用气、高纯吹扫及其他行业提供高纯氩气的输送。 |
气体 | 纯度(%) | N2 (ppm) | O2(ppm) | CO(ppm) | CO2(ppm) | CH4 (ppm) | (H2O) |
普氩 | 99.9 | <106 | <15 | <5 | <5 | <5 | -65℃ |
高纯氩 | 99.9999 | ≤0.2 | ≤0.3 | ≤0.2 | ≤0.2 | ≤0.2 | -80℃ |